Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD 200E2 #9268106 à vendre en France
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Vendu
ID: 9268106
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 2001
High current ion implanter, 5"
2001 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD 200E2 est un implant et un moniteur ionique de pointe qui permet un contrôle précis des processus ioniques de micro-niveau. Cet équipement est conçu pour les implants d'ultra haute précision nécessaires pour des applications dans la fabrication de semi-conducteurs, la fabrication de dispositifs biomédicaux et les technologies d'exposition haut de gamme. Le GSD 200E2 utilise une optique haute efficacité de la cavité ionique avancée et une source d'ions haute pression qui permet un fonctionnement des impulsions finement contrôlé et rapide ainsi qu'un débit élevé. Cet équipement comprend également un système de moniteur intégré avancé pour suivre les caractéristiques de l'impulsion ionique au cours de l'implant. La rétroaction en boucle fermée permet un contrôle dynamique de l'implant, permettant des implants très précis et reproductibles. En outre, le moniteur est capable de calculer et d'enregistrer la concentration des particules implantées, avec une précision sous-nanométrique. Le NOVAAXCELIS GSD 200E2 fonctionne à l'aide d'une machine de refroidissement optimisée pour assurer des implants stables et cohérents. Cet outil de refroidissement aide également à réduire le chauffage et l'accumulation de particules à travers la chambre, assurant que les résultats souhaités sont atteints à chaque implantation. L'actif est également équipé de fonctionnalités supplémentaires conçues pour augmenter la sécurité lors de l'implantation, y compris un modèle de nettoyage de chambre entièrement automatique et des capacités de mesure à grande vitesse. L'équipement dispose également d'un système d'analyse de haute précision qui fournit des données sur une variété de paramètres. Cela inclut l'énergie cinétique des ions, ainsi que les données du profil énergétique et l'analyse en temps réel. Les données recueillies par cette unité peuvent être utilisées pour aider au développement des processus et fournir des commentaires sur le succès de chaque implant. Globalement, AXCELIS NV GSD-200E2 est conçu pour assurer le contrôle le plus précis du processus d'implantation ionique. Cet implanteur et moniteur ionique est équipé des dernières technologies, d'une surveillance intégrée et d'une analyse de haute précision, ce qui en fait une solution idéale pour les applications nécessitant un contrôle précis.
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