Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-A-80 #9239611 à vendre en France

Un EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-A-80 est un équipement avancé d'implantation et de surveillance ionique haute performance qui combine une technologie d'implantation de précision fiable et un système de surveillance très flexible et sophistiqué. Cette unité unique offre des cycles/secondes plus rapides et une précision plus élevée que les autres systèmes, tout en offrant plus de flexibilité dans la gamme des implants, les exigences pour le blindage et la livraison de gaz. L'implanteur ionique est la première étape du processus d'implantation d'un matériau dans un substrat semi-conducteur. AXCELIS NV-GSD-A-80 est conçu pour fournir des niveaux d'implantation ionique très précis aux caractéristiques de précision présentes sur un substrat de plaquettes semi-conductrices. Il est capable d'implanter une gamme de dopants, dont le phosphore, l'arsenic, le bore, l'antimoine, le gallium, ainsi que des substrats sans dopant. EATON NOVA NV-GSD-A-80 est équipé d'un aimant puissant qui permet un haut niveau de contrôle sur l'angle d'arc du faisceau et la vitesse à un niveau d'énergie donné. Ceci assure la profondeur optimale de l'implant et l'uniformité à travers la surface d'une plaquette. En outre, sa machine de refroidissement avancée contribue à minimiser les dommages thermiques induits. L'implanteur ionique est conçu pour créer une distribution uniforme du matériau implanté grâce à une procédure de fonctionnement efficace. Il dispose également de la technologie avancée des lentilles magnétiques pour améliorer la précision de la direction du faisceau. Le contrôle du faisceau est géré par un logiciel TRD (Total Radiation Defect Control). Ce logiciel est conçu pour permettre à l'outil d'implantation de s'adapter rapidement à l'évolution de la composition, des motifs et des profondeurs du substrat. Le moniteur d'implants ioniques est capable de surveiller en temps réel les paramètres et les substrats des implants afin de s'assurer que l'actif fournit des implants fiables, sûrs et reproductibles. Le moniteur utilise des détecteurs avancés pour mesurer un large éventail de paramètres, y compris les niveaux de dopage, l'anisotropie, l'influence thermique et l'épaisseur. Cela aide à l'analyse des résultats des implants et aide à assurer l'exactitude de la lithographie. NV-GSD-A-80 est un modèle d'implantation et de surveillance ionique fiable et très efficace. Il offre une gamme de fonctionnalités et de technologies telles que la technologie des implants de précision, des lentilles magnétiques, des logiciels TRD et des capacités de surveillance avancées, qui lui permettent de produire efficacement des implants de haute performance à un niveau de précision et de répétabilité élevé. Il s'agit donc d'un choix idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs.