Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9195914 à vendre en France

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EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE
Vendu
ID: 9195914
Taille de la plaquette: 8"
Ion implanter, 8" SUMITOMO EATON NOVA End station Source / Injector region: ELS Electrode assembly: SEN Gas channels: Ar, BF3, PH3, AsH3 High pressure gas Injector PD / DI S.Control DI Filament PS Cathode PS(ELS) Arc PS Extraction HVPS Suppression PS Vac gauge controller Analyzer magnet PS Source magnet PS Injector electronic DI Gauss controller S.Turbo/Controller S.Gas control DI Beam guide assy Source gate valve High voltage stack Hall probe Injector beamline DI Injector Faraday RP1 Pump Isolation tank Vaporizer: No Analyzer turbo/Cont: No Linac region: AC PD Box RF PS Resonator can Pneumatic control box (1&2) Turbo pump: STP-H600C Control: Yes Cooling tube RF Generator FEM Control DI Quad PS Vacuum controller Roughing pump (RP4) Gauss meter / Probe: 1157450 / AXCELIS Magnet DI Wire harness Quad assembly Resolving housing region: Electron shower assy Gyro control DI In-Air control DI Loadlock control DI Electron shower PS Robot control DI Cryo pump (P2,3,9) Wire harness Cell controller Flag Faraday Cryo compressor Roughing pump (RP2) Data link hub Cryo on-board DI: No End station region: Rotary drive motor (4) Cassette tables Disk W/spare Rotary drive DI Y-scan control DI HCIG Controller Cassette door Disk TC control DI In-Air robot W/chuck Dose control DI Flat aligner Dummy buffer Vacuum cassette Resister box Cassette stand Load buffer In-Vac arm Laminar flow hood Clamp Wafer holder Sun workstation Disk removal tool: No Ground region: Main PD DI Triple loop chiller UWX30 Oscilloscope Smoke detector Power cable: No Work table: No Sun workstation: No (2) Laminar flow hoods Outer door Panels: Loop panel Outer enclosure panel Lead panel Endstation glass panel Floor Manual / Drawing: Operation manual Maintenance manual Endstation align manual Calibration manual Original vendor manual System drawing.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE est un implant et un moniteur ionique à haute performance. L'implanteur utilise la technologie la plus récente dans la technologie des implants, offrant aux utilisateurs des performances et un contrôle exceptionnels lors de l'implantation d'ions. Le GSD-HE dispose également d'un équipement de surveillance de haute précision pour assurer la précision et la sécurité. Au cœur d'AXCELIS NV GSD IL se trouve son système de mise en œuvre. Cette unité utilise une source d'ions à haut rendement qui est capable d'accélérer les ions jusqu'à des énergies allant jusqu'à 500 keV. Cette énergie est suffisante pour implanter des ions en profondeur à la surface d'une grande variété de matériaux. L'implant ionique dispose également de plusieurs lentilles différentes pour assurer une implantation précise et uniforme. De plus, le GSD-HE est équipé d'un obturateur réglable qui permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la quantité d'ions libérés. Le GSD-HE dispose également d'un certain nombre de systèmes de surveillance. Ces systèmes sont conçus pour détecter tout écart dans les performances de la machine et fournir des lectures précises des paramètres d'implantation tels que le courant d'ions, l'instabilité du faisceau, la contamination et d'autres variables. Le moniteur enregistre également ces valeurs dans un journal en temps réel qui peut être consulté ou téléchargé pour référence future. EATON NOVA NV-GSD HE est également capable d'effectuer diverses autres opérations. Par exemple, l'implanteur peut être programmé pour rejeter des particules présentant certaines caractéristiques, permettant un enrichissement des particules cibles souhaitées. Il a également la capacité de varier l'énergie et la vitesse d'implantation, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'implant pour répondre à leurs exigences spécifiques d'application. De plus, le GSD-HE peut être utilisé pour différents types de traitement plasmatique, tels que le PECVD, le PACVD, et le dépôt chimique en phase vapeur métallique (MOCVD). Le GSD-HE est également équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité. Il surveille les performances de l'implanteur au moyen d'un ensemble de capteurs qui détectent tout fonctionnement anormal. L'outil dispose également d'un bouton d'arrêt d'urgence qui peut être utilisé pour arrêter rapidement l'actif en cas d'urgence. En conclusion, EATON NOVA NV GSD/HE est un implant et un moniteur ionique évolués, hautement fiables et polyvalents. Le GSD-HE offre aux utilisateurs des performances, une précision et une sécurité exceptionnelles, ce qui en fait le choix idéal pour une variété d'applications.
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