Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9195914 à vendre en France
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Vendu
ID: 9195914
Taille de la plaquette: 8"
Ion implanter, 8"
SUMITOMO EATON NOVA End station
Source / Injector region: ELS
Electrode assembly: SEN
Gas channels: Ar, BF3, PH3, AsH3
High pressure gas
Injector PD / DI
S.Control DI
Filament PS
Cathode PS(ELS)
Arc PS
Extraction HVPS
Suppression PS
Vac gauge controller
Analyzer magnet PS
Source magnet PS
Injector electronic DI
Gauss controller
S.Turbo/Controller
S.Gas control DI
Beam guide assy
Source gate valve
High voltage stack
Hall probe
Injector beamline DI
Injector Faraday
RP1 Pump
Isolation tank
Vaporizer: No
Analyzer turbo/Cont: No
Linac region:
AC PD Box
RF PS
Resonator can
Pneumatic control box (1&2)
Turbo pump: STP-H600C
Control: Yes
Cooling tube
RF Generator
FEM Control DI
Quad PS
Vacuum controller
Roughing pump (RP4)
Gauss meter / Probe: 1157450 / AXCELIS
Magnet DI
Wire harness
Quad assembly
Resolving housing region:
Electron shower assy
Gyro control DI
In-Air control DI
Loadlock control DI
Electron shower PS
Robot control DI
Cryo pump (P2,3,9)
Wire harness
Cell controller
Flag Faraday
Cryo compressor
Roughing pump (RP2)
Data link hub
Cryo on-board DI: No
End station region:
Rotary drive motor
(4) Cassette tables
Disk W/spare
Rotary drive DI
Y-scan control DI
HCIG Controller
Cassette door
Disk TC control DI
In-Air robot W/chuck
Dose control DI
Flat aligner
Dummy buffer
Vacuum cassette
Resister box
Cassette stand
Load buffer
In-Vac arm
Laminar flow hood
Clamp
Wafer holder
Sun workstation
Disk removal tool: No
Ground region:
Main PD DI
Triple loop chiller
UWX30
Oscilloscope
Smoke detector
Power cable: No
Work table: No
Sun workstation: No
(2) Laminar flow hoods
Outer door
Panels:
Loop panel
Outer enclosure panel
Lead panel
Endstation glass panel
Floor
Manual / Drawing:
Operation manual
Maintenance manual
Endstation align manual
Calibration manual
Original vendor manual
System drawing.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE est un implant et un moniteur ionique à haute performance. L'implanteur utilise la technologie la plus récente dans la technologie des implants, offrant aux utilisateurs des performances et un contrôle exceptionnels lors de l'implantation d'ions. Le GSD-HE dispose également d'un équipement de surveillance de haute précision pour assurer la précision et la sécurité. Au cœur d'AXCELIS NV GSD IL se trouve son système de mise en œuvre. Cette unité utilise une source d'ions à haut rendement qui est capable d'accélérer les ions jusqu'à des énergies allant jusqu'à 500 keV. Cette énergie est suffisante pour implanter des ions en profondeur à la surface d'une grande variété de matériaux. L'implant ionique dispose également de plusieurs lentilles différentes pour assurer une implantation précise et uniforme. De plus, le GSD-HE est équipé d'un obturateur réglable qui permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la quantité d'ions libérés. Le GSD-HE dispose également d'un certain nombre de systèmes de surveillance. Ces systèmes sont conçus pour détecter tout écart dans les performances de la machine et fournir des lectures précises des paramètres d'implantation tels que le courant d'ions, l'instabilité du faisceau, la contamination et d'autres variables. Le moniteur enregistre également ces valeurs dans un journal en temps réel qui peut être consulté ou téléchargé pour référence future. EATON NOVA NV-GSD HE est également capable d'effectuer diverses autres opérations. Par exemple, l'implanteur peut être programmé pour rejeter des particules présentant certaines caractéristiques, permettant un enrichissement des particules cibles souhaitées. Il a également la capacité de varier l'énergie et la vitesse d'implantation, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'implant pour répondre à leurs exigences spécifiques d'application. De plus, le GSD-HE peut être utilisé pour différents types de traitement plasmatique, tels que le PECVD, le PACVD, et le dépôt chimique en phase vapeur métallique (MOCVD). Le GSD-HE est également équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité. Il surveille les performances de l'implanteur au moyen d'un ensemble de capteurs qui détectent tout fonctionnement anormal. L'outil dispose également d'un bouton d'arrêt d'urgence qui peut être utilisé pour arrêter rapidement l'actif en cas d'urgence. En conclusion, EATON NOVA NV GSD/HE est un implant et un moniteur ionique évolués, hautement fiables et polyvalents. Le GSD-HE offre aux utilisateurs des performances, une précision et une sécurité exceptionnelles, ce qui en fait le choix idéal pour une variété d'applications.
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