Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #9203805 à vendre en France
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Vendu
ID: 9203805
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
High energy ion implanter, 8"
Chamber
Extraction assy
Source isolation valve
Injector faraday assy
LINAC Chamber
Quadrupole assy
Resonator assy
Resolver faraday
E-Shower assy
P2 Cryo pump
(2) CTI Cryo compressors
End-station module:
DEXON With air circulation curtain
AXCELIS STD ATM Robot
Notch
Dummy cassette
(2) Load buffers
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Beam profile oscilloscope
Cell controller: 133
Load-lock type: GSD 100 / 200, HE
Main SUN computer SPARC station 5
Main monitor
Fiber loops
Process module:
Disk NV-GSD-200 segment type
Faraday flag
Electron shower
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Rotary drive: Direct drive
Beamline module:
HV Power supply: Advance HIVOLT
HV Stack: OL8000 / 104 / 05, 100 kV
Post ACCEL volt: Maximum 1 MeV
Extraction suppression PS
AMU: BSL
AMU: PS EMI EMS 40-150
Hall probe: AMU / FEM
LINAC System: HE STD
(10) Resonators
(2) ADVANCED ENERGY 3155038-001 RF Power supplies
(8) ADVANCED ENERGY 3155038-004
(5) Quad power supplies: GHI PS / Dual output
FEM BSL
(2) EMI EMS 30-165 FEM Power supplies
Source module:
ELS Source head
EMI EMS 10-60 Filament PS
EMI EMS 150-7 Arc PS
Cathode PS
Source magnet STD
EMI EMS 25-25 Source magnet PS
Source bushing
HE Extraction assembly
Gas box module:
Gas box type: GSD-100, 80 KV
Gas loop 1: Ar, HP
Gas loop 2: BF3, HP
Gas loop 3: AsH3, SDS
Gas loop 4: PH3, SDS
Loop 1 MFC: MKS 1179A, Ar, 5 sccm
Loop 2 MFC: MKS 1179A, N2, 10 sccm
Loop 3 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Loop 4 MFC: MKS 1640A, AsH3, 5 sccm
Vacuum system:
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Source turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-8 Resolving cryo pump
CTI-CRYOGENICS OB-10 V3 Cryo pump
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Right)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C Linac turbo (Left)
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
LEYBOLD HERAEUS TurboVac 1000C / Beam guide turbo
LEYBOLD HERAEUS Turbotronik NT 1000 / 1500 VH Controller
CTI-CRYOGENICS OB-250F Disk cryo pump
(4) EATON NOVA / AXCELIS 3300002
Make / Gas name / Usage / Size
SWAGELOK / CDA / Machine air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / Ar / Process Air / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / PN2 / Process vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / GN2 / Purge vent / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / N2 / Gas box / SUS Male, 3/8"
SWAGELOK / SF6 / Linac / SUS Male, 3/8"
Missing parts:
Gas box DI PCB
P8 Turbo pump
Input power: 480 VAC, 3-Phase, 60 Hz, 87 kVA
Output power: 1 MeV, 1 mA
1997 vintage.
L'EatonEATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE est un implant et un moniteur ionique révolutionnaire qui assure un contrôle avancé des processus d'implantation ionique. Ce dispositif fiable offre une gamme complète de fonctionnalités et de fonctions, telles que la technologie haute tension la plus récente, le moniteur automatique de courant de faisceau avancé, et le calcul programmable de fin de dose. Il est conçu pour réduire les coûts et minimiser les déchets, tout en contrôlant avec précision les implants. Les performances les plus élevées sont obtenues grâce à un système de commande électronique avancé, qui fournit une implantation très fiable et uniforme. Le système de commande comprend une surveillance avancée du courant du faisceau en boucle fermée et une commande automatique du courant du faisceau, qui fournit la plus grande précision d'implantation. Le GSD-HE dispose également d'un minuteur numérique avec partitionnement programmable pour un contrôle précis du temps de démarrage/arrêt de l'implant. Le GSD-HE dispose de fonctions de sécurité intégrées pour prévenir les dommages à l'appareil et à l'opérateur. Il est équipé d'un bouton d'arrêt d'urgence pour l'arrêt rapide, et d'un bouclier de rayonnement externe pour une protection maximale. De plus, le GSD-HE est conçu avec une conception de quasi-saturation à faible émission et à faible fuite afin d'assurer une fuite minimale des matériaux et de réduire les risques environnementaux. L'EatonAXCELIS NV GSD HE est idéal pour une utilisation dans n'importe quel cadre industriel, avec son contrôle avancé, ses caractéristiques de sécurité et sa conception optimisée. Il fournit un contrôle stable du courant du faisceau et un calcul précis du débit de dose, permettant aux opérateurs d'avoir un contrôle complet sur le processus d'implantation ionique. En outre, ses performances d'implantation très fiables et uniformes garantissent la plus haute qualité des produits. Avec ses fonctionnalités avancées, EatonEATON NOVA NV-GSD HE est un outil essentiel pour tout environnement industriel.
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