Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD #293817741 à vendre en France
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EATON NOVA/AXCELIS NV GSD est un équipement de pointe d'implantation et de surveillance ionique conçu pour maximiser la précision et l'efficacité de la fabrication des appareils. Il utilise un robuste système de distribution de faisceau à double mode DC/RF et une combinaison innovante de configurations d'électrodes RF/DC pour déposer et surveiller avec précision la dose d'ions avec une facilité et une précision exceptionnelles. L'unité fournit une interface unifiée et conviviale pour les recettes définies par l'utilisateur et configurées en usine qui garantissent des performances cohérentes et reproductibles avec un fonctionnement 100 % compatible salle blanche et partout ailleurs où une production ultra-haute pureté est souhaitée. L'interface graphique intuitive permet à la fois des opérations power-down et power-up avec un haut niveau de contrôle, de commodité et de tranquillité d'esprit. La machine auto-calibrante permet aux opérateurs d'ajuster précisément et rapidement la dose d'ions, le courant du faisceau et d'autres paramètres de processus pour obtenir des performances idéales. Ses alarmes et alertes exclusives surveillent les niveaux de performance et alertent les utilisateurs de tout écart par rapport aux objectifs souhaités. En outre, l'optique avancée de l'outil fournit des profils de faisceau dynamiques et des caractéristiques d'alignement automatique pour assurer des résultats d'implantation cohérents et précis. AXCELIS NV GSD offre également une gamme d'outils de diagnostic et d'analyse, garantissant une efficacité maximale et l'intégrité des processus. Ceux-ci comprennent des tests de dose totale et des contrôles de contrôle de l'énergie DC/RF pour valider la performance d'implantation, ainsi que l'analyse des lots de plaquettes et du nombre de plaquettes. Il existe également une série complète de tests d'uniformité pour les applications d'évaporation et d'implants. EATON NOVA NV-GSD offre une gamme impressionnante de fonctionnalités et de capacités avancées. C'est l'un des systèmes les plus avancés disponibles pour l'implantation et la surveillance des ions avec un bon rapport coût-efficacité et précision. En conséquence, il peut être déployé pour une variété de dispositifs, des puces semi-conductrices et composants de circuits intégrés aux systèmes de communication et à l'électronique médicale. En outre, il est équipé des caractéristiques de sécurité nécessaires, répondant à toutes les exigences de la production industrielle rigoureuse.
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