Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII-90 #9059238 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII-90 est un implanteur et moniteur ionique conçu pour une implantation de haute précision et une couverture homogène des plaquettes. Il est largement utilisé pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le dispositif a une alimentation minimale d'accepteur de 90 keV, ce qui assure une précision et une uniformité optimales du dosage ionique en mouvement. Une plage de courant du faisceau d'ions de 100 uA à 1mA assure des performances d'implantation élevées. Ceci est rendu possible par le pistolet à électrons de criblage breveté de l'appareil et le mode d'interruption automatique du tweeter. De plus, plusieurs options d'alignement de faisceau sont disponibles, y compris un balayage à 1 dimension, à 2 dimensions et programmable, permettant une implantation précise et précise. AXCELIS NV GSDIII 90 dispose d'un moniteur et d'une fonctionnalité de fin de prise de vue en temps réel, qui fournit une évaluation en temps réel des paramètres d'implantation. Cette fonctionnalité aide également à contrôler l'élargissement Doppler, améliorant les résultats d'uniformité des plaquettes. Le moniteur comprend également le calcul de la masse totale des implants (TIM), ce qui permet aux utilisateurs d'optimiser les paramètres de dose et de profil et de vérifier facilement les résultats. Le dispositif comprend également un système automatisé de sécurité des accélérateurs, y compris un lot moteur tournant, et un système d'amortissement inertiel pour réduire les arcs et les pulvérisations. En outre, un total de huit ports indépendants sont disponibles pour le soutien flexible des gaz et des gaz de procédé. En outre, EATON NOVA NV-GSDIII-90 supporte un large éventail de dopants, et peut gérer jusqu'à 16 niveaux de dopage différents. Il est également équipé d'une technologie d'auto-nettoyage et de détecteurs de limites pour assurer un environnement de travail sûr. EATON NOVA NV GSDIII-90 est un implanteur/moniteur ionique fiable et de haute précision. Il est doté d'une alimentation minimale de 90 keV et d'une large gamme d'options de traitement, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats homogènes et de haute précision. La surveillance avancée et les systèmes automatisés de l'appareil garantissent un fonctionnement sûr et efficace.