Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSDIII #293762494 à vendre en France
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L'implant et le moniteur ionique EATON NOVA/AXCELIS NV GSDIII est un équipement d'implantation puissant et polyvalent utilisé dans la fabrication de technologies de pointe de dispositifs. Le système est conçu pour offrir une implantation extrêmement précise et répétable des dopants et des espèces dopantes, ainsi qu'un suivi précis des espèces implantées. Le GSDIII est une unité à quatre axes qui permet un contrôle informatique complet des paramètres d'implantation, y compris l'énergie du faisceau, le dosage et la forme sur la cible. La machine utilise une chambre à ultra-bas vide avec un implant ionique plein champ qui produit de très faibles doses de l'espèce tout en conservant les profils d'implantation souhaités. La chambre est chauffée pour aider à stabiliser l'environnement, et il y a un collecteur de gaz supplémentaire pour fournir un débit de gaz précis et stable pour contrôler davantage l'environnement d'implantation. En outre, une grande variété de configurations et d'étages de manipulation de substrat sont disponibles, permettant l'implantation d'une grande variété de substrats. Le GSDIII est conçu avec une interface numérique moderne qui permet une configuration et un contrôle faciles du processus d'implantation. Cela inclut l'affichage graphique intuitif des profils d'implantation, ainsi que l'enregistrement détaillé des données et l'archivage automatique des profils pour un accès facile plus tard. L'outil permet une rétroaction précise des espèces implantées en surveillant l'énergie, le dosage et la forme du faisceau dans la chambre d'implantation. En utilisant la rétroaction du capteur du moniteur, l'opérateur peut s'assurer que l'implantation se déroule comme désiré et peut réajuster les paramètres si nécessaire. Le contrôle complet de l'actif GSDIII, combiné à sa conception efficace et puissante, en fait un choix optimal pour l'implantation d'une variété d'activités d'implants. Le modèle est très fiable et facilement utilisable, assurant une efficacité d'infiltration maximale. La conception robuste et l'interface conviviale font de l'équipement une solution fiable, vraiment avancée de technologie d'implant.
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