Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760169 à vendre en France

ID: 293760169
High current implanter Process chamber.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor est un équipement d'implantation et de surveillance haut de gamme conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est adapté aux applications de production à moyenne et haute doses et offre des hétérogénéités de dose à haut débit et à haute résolution. Le système Optima HD est équipé d'une alimentation haute tension, ainsi que d'une logique de commande de faisceau hautement optimisée et d'un dispositif de défilement de faisceau multi-étages. Ceci permet une canalisation précise et non oscillante du faisceau d'ions dans un plan X-Y, ainsi qu'un axe Z pour permettre l'uniformité des doses. L'unité dispose également d'une capacité étendue d'évaluation des risques de contrôle et d'implantation sans défaut, offrant une grande fiabilité des processus. De plus, la machine Optima Optima HD De plus, elle offre une capacité d'implant améliorée, permettant une large gamme de profondeurs de dose avec une précision haut de gamme. L'outil de surveillance HD de la Base d'Optima comprend également un actif de moniteur, qui comprend plusieurs fonctionnalités qui améliorent la précision de la surveillance. Il s'agit notamment d'un moniteur de profil de faisceau entièrement automatisé en temps réel, d'un moniteur de profil de faisceau automatisé avec plusieurs grilles et d'un moniteur de courant en régime permanent. De plus, de nombreux moniteurs, tels que l'autodiagnostic des faisceaux et la surveillance des fuites sous vide, sont intégrés au modèle. Parmi les autres caractéristiques de l'équipement d'Optima HD, mentionnons un système de déchargement par faisceau pour faciliter le chargement et le déchargement des chambres d'implantation. L'unité offre également une machine de mise à la terre robuste, des dispositifs de protection contre l'arrêt à haute tension, une surveillance intégrée de l'entretoisement de sécurité et un détecteur de particules intégré. En conclusion, AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor est un outil d'implant puissant et fiable, offrant une large gamme de fonctionnalités pour garantir des implants de qualité et une production à haut débit. L'actif de surveillance inclus et les caractéristiques supplémentaires fournissent une assurance supplémentaire de la précision et de la fiabilité, tout en étant rentable et en conformité avec les normes de l'industrie des semi-conducteurs.
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