Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #293760174 à vendre en France
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EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour aider les fabricants de semi-conducteurs à atteindre la précision et la répétabilité aux plus hauts niveaux de performance. Cet équipement offre une excellente répétabilité et précision tout en permettant aux utilisateurs de bénéficier d'une productivité plus élevée. AXCELIS Optima HD dispose d'un système de moniteur de courant de faisceau à haute résolution qui utilise des algorithmes propriétaires pour détecter de petits changements dans le courant de faisceau, ce qui permet un plus grand niveau de performance et d'uniformité dans la filière. L'émetteur de faisceau d'ions a été conçu pour améliorer la cohérence des doses de faible énergie, et comprend une unité de correction de posture active brevetée qui permet un centrage précis et répétable du faisceau pour une performance optimale. De plus, la technologie optimisée de contrôle de faisceau fournit une interface de contrôle puissante et flexible qui aide les fabricants à mieux comprendre et gérer leurs processus d'implantation ionique. La machine Optima HD d'EATON NOVA prend également en charge des débits avancés de 280 wafers par heure, facilitant ainsi une meilleure productivité et un débit accru. De plus, l'outil offre une large gamme de fonctions de contrôle automatique des processus (APC) qui comprennent l'uniformité du faisceau d'ions, l'uniformité des doses et la surveillance des doses qui aident à rationaliser le processus d'implantation et à réduire les erreurs d'implantation. Enfin, Optima HD offre également une fonction avancée de surveillance automatisée de la santé des actifs qui aide à maintenir les opérations dans un état quasi optimal tout en fournissant des capacités de maintenance prédictive pour anticiper et résoudre les problèmes potentiels avant qu'ils ne deviennent des problèmes majeurs. De plus, le modèle comporte des dispositifs de sécurité complets tels que l'arrêt d'urgence, les alarmes sonores et le verrouillage de la machine qui aident à protéger les opérateurs et les spectateurs dans des scénarios potentiellement dangereux. Dans l'ensemble, EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est conçu pour fournir une implantation ionique rapide, précise et efficace avec un niveau de contrôle et de précision qui est sans pareil, permettant aux fabricants d'atteindre des niveaux époustouflants de performance de l'appareil avec un minimum de temps d'arrêt en raison de maintenance ou d'erreurs.
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