Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9235241 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est un implant et un moniteur ionique de haute performance généralement utilisé dans la fabrication de microélectroniques. Il est capable d'un contrôle de puissance précis, conduit par le processus, fournissant une uniformité exceptionnelle du faisceau d'ions. Il offre plusieurs sources de faisceau qui peuvent être utilisées pour implanter des substrats de grande surface, fournissant une énergie d'implant très uniforme et des doses de profondeur sans dégradation des propriétés du film. AXCELIS Optima HD est un implanteur ionique puissant et flexible capable de fonctionner et d'implémenter de manière polyvalente pour diverses applications. Il dispose d'un faisceau haute vitesse avec contrôle programmable pour fournir des profils de dopage précis et uniformes pour les appareils avancés. Il peut être utilisé pour tout, de l'implantation de films ultra-épais aux films minces pour des applications à grande vitesse, et il peut être optimisé pour une grande variété de types d'ions, d'énergie et de doses. L'équipement dispose également d'un système de balayage dynamique pour l'implantation de substrats de grande surface, qui fournit des profils encore plus profilés et plus uniformes. Cette unité est capable de délivrer de grandes doses sur de grandes surfaces avec une perte d'énergie minimale, fournissant une uniformité améliorée de l'implant et la précision de la dose de profondeur. Il permet également d'utiliser jusqu'à six sources différentes pour l'implantation « multi-composants » de types ioniques multiples, offrant un degré élevé de flexibilité et d'optimisation des implants ioniques. EATON NOVA Optima HD est également livré avec un certain nombre de fonctionnalités conviviales qui simplifient la maintenance, augmentent le temps de disponibilité et améliorent la productivité. Il s'agit notamment d'une machine automatisée de surveillance de la puissance du faisceau primaire, des conditions environnementales de la ligne de faisceau et de la pression de vide, tout en prévoyant une réponse immédiate aux incidents à haute température ou aux refoulements. Il fournit également un outil de refroidissement avancé et la technologie de contrôle de mouvement qui assure une meilleure uniformité du faisceau et de la production de processus tout en minimisant les déséquilibres. Optima HD est un atout optimisé pour les dispositifs semiconducteurs implantés, offrant des distributions de dose et de profondeur fiables et précises ainsi qu'une imagerie haute résolution et un contrôle des processus. C'est une solution adaptée pour les technologies de pointe telles que MEMS, NEMS, et les applications médicales, et il est conçu pour la fiabilité et la performance. Ce modèle est un choix idéal pour ceux qui cherchent à augmenter le rendement et à améliorer le débit dans leurs processus.