Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9244859 à vendre en France
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ID: 9244859
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Ion implanter, 12"
2007 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est un implant ionique combinatoire et un moniteur utilisé pour le traitement des matériaux à base de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe dispose d'un terminal à basse énergie, d'un microscope électronique à balayage avec télécommande, d'un spectromètre à fluorescence aux rayons X et d'un positionneur d'échantillons à trois axes. AXCELIS Optima HD est également équipé d'un scintillateur NaI pour la détection de la lumière émise à la surface de l'échantillon, ainsi que d'un détecteur de type microscope électronique pour la mesure du courant. Tous ces composants permettent à EATON NOVA Optima HD de délivrer avec précision des doses précises d'ions dans le matériau de l'échantillon. Le terminal basse énergie est équipé de caractéristiques avancées qui permettent un contrôle précis de l'énergie du faisceau pendant l'implantation. Cette borne comporte également une gamme d'autres fonctions telles qu'une alimentation, un contrôle de courant, un système de régulation de température et une unité de commande de vanne de grille. Comme pour tous les composants d'Optima HD, les caractéristiques des terminaux basse énergie ont été conçues pour une performance optimale. Le microscope électronique à balayage (SEM) est également équipé de fonctionnalités avancées. Il comprend un contrôle sur 5 axes et un ensemble complet de systèmes de formation d'images qui peuvent être utilisés pour recueillir des informations cruciales sur le matériau de l'échantillon. Il accueille également un large éventail de géométries d'échantillons. De plus, le SEM est relié à une machine de commande informatisée pour permettre le fonctionnement à distance. Le spectromètre de fluorescence assure un contrôle précis et précis des dopants et des contaminants pendant le processus d'implantation. Il utilise un accélérateur linéaire pour générer des faisceaux de rayons X hautement focalisés et à haute énergie qui pénètrent dans le matériau de l'échantillon et détectent la réponse énergétique caractéristique du matériau. Ces données sont ensuite collectées et analysées pour assurer une implantation précise. Le positionneur d'échantillons à trois axes permet une manipulation précise du matériau de l'échantillon, assurant son positionnement correct pour une précision d'implantation optimale. Il dispose d'un contrôle spatial précis de la position du matériau de l'échantillon et peut accueillir une grande variété de géométries d'échantillons. Enfin, EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est également livré avec un scintillateur NaI pour la détection de la lumière émise de la surface de l'échantillon. Cela permet à l'outil de surveiller avec précision le processus d'implantation sans avoir à surveiller manuellement l'échantillon. Ceci, en outre, assure le plus haut niveau de précision d'implantation. Globalement, AXCELIS Optima HD implante et moniteur ionique est un atout sophistiqué et puissant. Ses caractéristiques et composants avancés permettent d'implanter avec précision des matériaux d'échantillonnage, garantissant ainsi des rendements cohérents et des performances fiables du produit.
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