Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9262050 à vendre en France
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ID: 9262050
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Ion implanter, 12"
2010 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD Ion Implanter & Monitor est un implanteur et moniteur polyvalent de nouvelle génération conçu pour maximiser la productivité tout en permettant une uniformité supérieure des faisceaux, la qualité des plaquettes et la cohérence. Cette implantation ionique établit un nouveau niveau de performance et de fiabilité dans l'industrie des semi-conducteurs, en tirant parti d'une combinaison innovante de la technologie avancée des faisceaux et des fonctionnalités intuitives des logiciels et du matériel. Optima HX Implanter présente une source double de propriétaire la source d'ion d'OptiSource™ avec les extensions de plasma doubles. Cela permet d'implanter simultanément deux types différents d'ions - positifs ou négatifs - à partir de chaque source, ce qui permet une implantation ionique de productivité la plus élevée. Cette source avancée a également beaucoup moins de pièces que les sources classiques, ce qui la rend facile à entretenir et à contrôler. La source est entourée d'une technologie de grille d'extraction unique qui assure une extraction fiable des ions et une uniformité constante sur la surface de la plaquette. Le moniteur HD d'AXCELIS Optima offre une capacité de surveillance supérieure, y compris le contrôle du courant du faisceau, la surveillance de la taille et de la forme des taches et les mesures dimensionnelles des particules. Ce moniteur capture 100 % de la surface de la plaquette d'implant, et détecte toute variation du processus d'implant via un système de vision unique. Ce système utilise une caméra intelligente pour capturer des images de sites implantés et évaluer la qualité de ces implants. L'implanteur et le moniteur Optima HX sont alimentés par le logiciel de contrôle des processus AXCELIS UNICUS™ qui fournit une plate-forme moderne avec des analyses sophistiquées. Ce logiciel leader de l'industrie permet aux opérateurs de suivre et d'orienter l'état de chaque emploi, de détecter les problèmes potentiels et de mettre en œuvre des mesures correctives avant qu'elles n'affectent les rendements des produits. Dans l'ensemble, EATON NOVA Optima HD de EATON NOVA est une solution idéale pour les fonderies de semi-conducteurs qui recherchent une productivité accrue, une uniformité supérieure des implants et une meilleure qualité des produits. Cette nouvelle génération d'implanteur et de moniteur combine une technologie de pointe de source et de moniteur, un logiciel de contrôle intuitif et des capacités de contrôle de processus robustes dans une seule plate-forme, qui permettent aux clients d'atteindre rapidement et de manière fiable les plus hauts niveaux de performance et de fiabilité dans leurs lignes de production.
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