Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HD #9311204 à vendre en France
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ID: 9311204
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
High current implanters, 12"
2007 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est un implant ionique de pointe et un moniteur conçu pour aider vos opérations de traitement de semi-conducteurs à fonctionner en douceur et efficacement. Avec jusqu'à 60 kW d'exploitation en plein champ et une large gamme de vitesses de balayage de faisceau, AXCELIS Optima HD peut atteindre des profondeurs d'implantation élevées avec un débit élevé. Cela vous permet de réaliser des implants complexes qui sont critiques pour les performances des appareils rapidement et avec précision. Le système de balayage à double faisceau breveté EATON NOVA Optima HD permet un contrôle précis du faisceau, y compris la fréquence, la taille des taches, la puissance et la dose. Il est également équipé d'un système de contrôle de la transtension (TVCS) piloté par l'IA pour ajuster les régimes de tension pour un contrôle optimisé des implants. En adaptant les recettes d'implants sélectionnées aux conditions réelles d'essai sur la plaquette, Optima HD minimise les ions hors gamme tout en fournissant les résultats de recette souhaités. EATON NOVA/AXCELIS Optima HD dispose également d'un contrôle d'ionisation automatique avancé qui maintient les ions stables en suivant et en corrigeant les variations qui surviennent pendant l'implantation en raison de la température, de la pression, etc. Il a intégré la surveillance des processus et les enregistrements des produits de wafers, qui fournissent une rétroaction importante et vous permettent de mieux contrôler et optimiser les processus tout en maximisant l'efficacité. AXCELIS Optima HD est équipé d'un moniteur haute résolution pour visualiser l'implantation ionique en temps réel et s'assurer que le processus suit la recette spécifiée. Le moniteur vous permet de peaufiner les paramètres d'implantation et fournit des données complètes pour le contrôle statistique des processus. Il vous permet également de repérer facilement les défauts d'implantation, tels que les trous, les pointes ou les formes d'onde déformées, et d'ajuster automatiquement les paramètres pour les corriger. Construit selon les spécifications de sécurité industrielle, EATON NOVA Optima HD est livré avec un système de sécurité impeccable, incluant un verrouillage de sécurité et des boutons d'arrêt d'urgence. Il a également une source d'ion sans entretien, de sorte que vous n'avez pas à vous soucier des coûts d'entretien ou de remplacement réguliers. Optima HD dispose également d'un logiciel PTW-4GB qui comprend des outils standard de développement de recettes, une analyse détaillée et des rapports, et une interface d'opérateur intuitive. En bref, EATON NOVA/AXCELIS Optima HD est un implant et un moniteur ionique avancés et fiables avec des capacités de pointe. Il est idéal pour les opérations de traitement des semi-conducteurs car il permet une implantation précise et efficace avec un contrôle optimal du processus et des coûts de maintenance minimes.
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