Occasion EATON NOVA / AXCELIS Optima HDX #9282114 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX est une technologie d'implantation et de surveillance ionique utilisée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un implanteur ionique à haute tension, à entraînement direct, conçu pour fournir une vitesse, une fiabilité et une précision supérieures lors de l'implantation d'ions dans des structures IC. AXCELIS Optima HDX est utilisé pour des étapes critiques de traitement dans le processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs, tels que le dépôt de couches diélectriques, l'implantation à la source et le dopage lourd. EATON NOVA Optima HDX agit en chargeant des ions dopés d'une source d'ions dans un accélérateur de plasma, ce qui accélère les ions vers des énergies élevées et les dirige vers le substrat désiré avec précision. Ce transfert de source à substrat est habituellement réalisé par une série de lentilles magnétiques impulsionnelles et balayantes, qui aboutissent à un faisceau étroit optimisé pour une couche de matériau donnée. Optima HDX dispose d'algorithmes de contrôle avancés qui limitent les dépôts hors cible et contrôlent la trajectoire du faisceau d'ions post-implantation. Ceci garantit la précision et la répétabilité dans la fabrication du dispositif. EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX offre également des systèmes de surveillance avancés qui peuvent mesurer et suivre le processus d'implantation ionique. Ces systèmes utilisent une variété de capteurs, tels que des capteurs de courant, des capteurs de pression et des capteurs de position pour mesurer les caractéristiques des ions et des couches de substrat en temps réel. Ceci permet d'optimiser la dose d'ions, la vitesse d'ions et la taille du faisceau d'ions pour une application donnée. AXCELIS Optima HDX est testé pour une fiabilité et une précision supérieures. Ses systèmes de surveillance avancés ont été conçus pour fournir un contrôle précis du faisceau d'ions et assurer le plus haut niveau de performance. EATON NOVA Optima HDX peut fonctionner de la manière la plus efficace possible afin d'améliorer la qualité, le débit et le rendement. Dans l'ensemble, Optima HDX est un implant et un moniteur ionique à entraînement direct très perfectionné, conçu pour contrôler avec précision le processus d'implantation ionique et fournir une précision, une vitesse et une fiabilité optimales. Avec ses caractéristiques avancées et optimisées, EATON NOVA/AXCELIS Optima HDX est parfaitement adapté aux exigences exigeantes de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.