Occasion EATON NOVA / AXCELIS Paradigm #9215196 à vendre en France

EATON NOVA/AXCELIS Paradigm est un équipement moderne d'implantation et de surveillance d'ions qui a été conçu pour améliorer la précision et la précision dans le traitement des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est responsable de l'implantation d'ions dans la surface de la plaquette pendant le processus de fabrication, et de la surveillance de leur dépôt et de leur mouvement. Le système dispose d'une source d'ions de haute précision et d'un contrôleur d'énergie, permettant un contrôle précis des caractéristiques de la couche implantée. La chambre est également équipée d'une serrure et d'une machine à vide sophistiquée, permettant un traitement efficace de plusieurs plaquettes en un court laps de temps. La source d'ions est alimentée par un accélérateur linéaire et est capable d'atteindre une gamme d'énergies, ce qui donne des doses d'implantation plus précises. La source est protégée par un cylindre de quartz, ce qui aide à minimiser la contamination. La conception de la ligne de faisceau de l'outil utilise un miroir parabolique, équipé d'un déflecteur électrostatique, pour balayer avec précision une zone cible. Cela garantit des implants précis qui sont répartis uniformément sur la surface de la plaquette. L'actif permet également une surveillance en temps réel de la couche implantée par l'utilisation d'un moniteur de position du faisceau et d'un analyseur de gaz résiduel. Ces mesures sont utilisées pour vérifier la précision de l'implantation ionique. AXCELIS Paradigm fournit une précision et une précision de pointe dans le traitement des plaquettes pour l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit une source d'ions de haute précision, ainsi que des systèmes sophistiqués de vide et de blocage de charge, ainsi que des capacités de surveillance en temps réel. Ces caractéristiques permettent d'implanter avec précision des couches uniformément réparties sur la surface de la plaquette pour garantir des résultats précis. Le modèle est un outil précieux pour ceux qui cherchent à améliorer l'efficacité et la qualité de leur traitement des plaquettes.