Occasion HITACHI IP825A #293630417 à vendre en France
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HITACHI IP825A est conçu pour une implantation et une surveillance ioniques efficaces et de haute précision dans les processus de fabrication de dispositifs microélectroniques. L'ensemble combo d'équipement se compose de deux modules - un implanteur d'ions et un moniteur de rayonnement. Offrant la meilleure performance d'implantation ionique et de surveillance des dispositifs microélectroniques, le IP825A hautement fiable est capable d'atteindre une implantation de haute précision avec une dynamique exceptionnellement élevée par rapport aux systèmes existants. Il présente un rapport de résolution impressionnant de 1:500 et une vitesse de balayage allant jusqu'à 120 °/sec. Cela permet des processus d'implantation plus efficaces et un meilleur rendement. Le module d'implantation ionique facilite divers processus, y compris l'implantation de particules Ar +, Xe +, Ni +, O +, B + et N +, ainsi que la gravure ionique. Il a également un système intégré compensé en charge qui réduit les particules chargées de l'implantation. Pendant ce temps, le module de contrôle de rayonnement contribue à maintenir un environnement de haute précision en surveillant en permanence les conditions d'implantation et en assurant des performances de qualité. Il dispose d'une fenêtre de balayage jusqu'à 12mm qui assure une mesure plus précise des paramètres du faisceau de particules. Il utilise également une carte unitaire pour analyser et surveiller l'angle du faisceau, la taille de la tache de faisceau, et plus encore, ce qui augmente considérablement l'efficacité du processus. De plus, la machine contrôle les deux instruments dans un seul programme flexible. Il est ainsi facile de manipuler les paramètres de l'outil d'implantation tout en analysant les données surveillées en temps réel. L'actif peut également sauvegarder des données et les rappeler de manière systématique. Le modèle dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive (UI) qui simplifie le contrôle et la surveillance des implants. Le panneau LCD couleur de 4,3 pouces est conçu pour une vision rapide et facile. Il est également conçu pour une fiabilité à long terme et dispose d'un cycle de veille de 90 jours. L'ensemble combo HITACHI IP825A est adapté à une large gamme de procédés de fabrication de dispositifs microélectroniques. Les fonctions avancées et les opérations conviviales permettent un suivi et une implantation efficaces. Cela garantit des résultats de qualité et un débit accru.
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