Occasion INTEVAC Matrix #9294239 à vendre en France
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Vendu
ID: 9294239
Implanter
Sequential pattern implant system:
Roughing pump
DI Chiller
Electrical power distribution
Implant source chamber
Energy system
Chamber exhaust:
Toxic exhausts from implant chamber roughing pump
Safety interlock
Gas box panel cover
Minimum differential pressure
Gas over pressure
Chamber vacuum
Module:
FORTIX Wafer loader and unloader
Wafer receiving station
Wafer buffer
Load lock chamber
Implant chamber
Mask and alignment
Peripheral:
Pump
DI Chiller
Power Distribution Unit (PDU).
INTEVAC Matrix est un équipement d'implantation et de surveillance ionique qui est utilisé dans le monde entier dans une variété d'applications. Le système est utilisé pour l'implantation rapide et précise d'ions dans des dispositifs à couches minces et à semi-conducteurs. Il est également utilisé pour la modification de matériaux d'usage général et l'analyse en couches minces. L'unité est basée sur un principe d'accélération des particules chargées et les ions implantés sont précieusement contrôlés. Cela se fait en concentrant et en accélérant les ions vers un matériau cible où ils sont arrêtés et implantés. Le faisceau d'ions est précisément mis en forme et surveillé pour réduire le temps de ratissage sur la cible et fournir des résultats de haute qualité. La machine est également équipée d'une unité de focalisation automatique avancée qui assure l'uniformité du faisceau sur toute la zone cible. Il est capable de réaliser des implantations sur des caractéristiques de quart de micron et est également compatible avec la plupart des systèmes de chambre et de la taille des plaquettes. L'outil est également équipé de capacités diagnostiques avancées, permettant le contrôle du processus et de la dose ainsi que le profilage matériel. Matrix dispose d'une interface utilisateur graphique sophistiquée qui offre un fonctionnement facile et une précision accrue de l'appareil. Il comprend également une fonction de dosimétrie en ligne qui permet à l'utilisateur d'évaluer le dépôt de dose sur la plaquette en cours de traitement en temps réel. En outre, l'actif est capable de surveiller la température et la pression, ce qui permet d'améliorer la stabilité du processus. Le modèle fournit une précision imbattable dans l'implantation et a été utilisé pour la production ainsi que la recherche. Elle a une large gamme d'applications telles que le dopage de semi-conducteurs, la conversion de substances cristallines ou l'implantation de dopants en métaux. Il peut être utilisé pour de nombreux matériaux différents, dont le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium et le titane. INTEVAC Matrix est un outil inestimable pour ceux de l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit une méthode d'implantation fiable tout en permettant une précision et une précision impeccables.
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