Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283 à vendre en France
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ID: 293646283
Ion implanter
Beam diameter: 0.68mm ± 5%
Beam divergence: 1.05mrad
Wave length: 488nm
Maximum drift: <2.0%
Minimum air flow cooling: <50cfm
Expected lifetime: >20,000
Electrical power: Up to 60W
Output power: 50mW.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT est un équipement avancé d'implantation et de surveillance d'ions utilisé pour créer des changements microstructuraux dans les dispositifs semi-conducteurs. Pour ce faire, on introduit dans le matériau des quantités contrôlées de porteurs de charges (électrons ou ions). L'implanteur ionique est typiquement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés et de circuits intégrés. KLA LSS-20SLAT utilise un accélérateur linéaire pour injecter les porteurs de charge dans le matériau. Le faisceau d'ions est alors mis en forme et focalisé dans un faisceau d'énergie uniforme par un système d'aimants multi-éléments. Ceci assure un contrôle précis de la quantité d'énergie déposée dans le matériau. L'unité est capable de produire des faisceaux avec des énergies de l'ordre de 20-250 KeV. TENCOR LSS-20SLAT est équipé d'un moniteur très sensible qui détecte l'implantation des porteurs de charge. Cela permet d'assurer un contrôle précis et précis du dopage. La machine peut détecter 65 gaz différents, dont l'hydrogène, l'oxygène, l'azote et d'autres éléments rares. LSS-20SLAT dispose également d'une source de plasma basse pression avancée pour améliorer l'uniformité et la précision du faisceau d'ions. L'outil est très flexible et peut être configuré pour répondre à des exigences spécifiques. Il peut être utilisé à la fois pour une seule plaquette et pour l'implantation en mode lot. THERMA-WAVE LSS-20SLAT a obtenu une large acceptation dans l'industrie des semi-conducteurs comme l'implant ionique le plus convivial, précis et fiable disponible. Elle a fait ses preuves dans la production à haut volume, ainsi que dans les applications de R&D. L'actif a acquis une réputation enviable de fiabilité, d'exactitude, de flexibilité et de performance. En conclusion, KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT est un modèle avancé d'implantation et de moniteur d'ions qui offre une grande précision et fiabilité pour les opérations de recherche et de production. Sa configuration flexible et sa technologie de pointe en font un excellent choix pour l'application de semi-conducteurs.
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