Occasion NISSIN NH-20SR #9144958 à vendre en France

NISSIN NH-20SR
ID: 9144958
Taille de la plaquette: 6"
Medium current implanters, 6".
NISSIN NH-20SR est un équipement d'implantation et de surveillance ionique fiable et efficace spécialement conçu pour des applications d'implantation ionique de haute précision. Le système a été conçu pour surveiller efficacement et avec précision les paramètres des implants, contrôler automatiquement les paramètres du processus et mesurer avec précision les paramètres importants, tels que les dommages résiduels des plaquettes de silicium implantées. NISSIN NH 20SR utilise une source d'ions multi-modes, lui permettant d'implanter efficacement et avec précision différents matériaux allant du bore aux matériaux à haut numéro atomique (Z), et comprend un contrôle de l'optique des ions pour une manipulation précise du faisceau. Le scanner de faisceau d'ions de l'unité peut contrôler la taille du faisceau d'ions sans affecter l'énergie et la dose d'ions. NH-20SR dispose d'un ordinateur de mission, permettant l'acquisition, le traitement et le stockage automatisés de données pour un fonctionnement efficace. L'outil NH 20SR est également équipé de dispositifs de sécurité pour protéger le personnel et l'équipement sensible. Il comprend des dispositifs de sécurité laser automatiques et un détecteur d'ions d'énergie. Il dispose également d'un moniteur ionique résiduel actif pour surveiller la contamination du procédé. NISSIN NH-20SR est capable de contrôler avec précision les paramètres de l'implant grâce à ses puissantes capacités d'automatisation. Cela comprend la capacité de contrôler le courant du faisceau d'ions pré-implant, l'énergie du faisceau pré-implant, le courant du faisceau post-implant et l'énergie du faisceau post-implant. L'actif peut également surveiller la dose de l'implant et la précision du modèle. Les capacités de test automatisé sont incluses, qui fournissent une rétroaction rapide sur la qualité du processus. Les systèmes de surveillance NISSIN NH 20SR assurent une surveillance précise et fiable des paramètres du processus d'implantation. Cela comprend la capacité de mesurer l'énergie et le courant du faisceau, la position du faisceau, le courant et la résistance du wafer, et les dommages du wafer. Des fonctions de surveillance spécialisées sont également disponibles, telles que la plage de recul dépendante de la dose, l'analyse de l'essai du moniteur de dose et l'analyse transitoire du faisceau. NH-20SR est équipé de puissantes capacités de stockage et d'analyse des données, qui comprennent le stockage des données pour les paramètres des implants et l'archivage des données par lots. Il prend également en charge l'analyse des données et la surveillance de l'équipement grâce à l'affichage en temps réel des informations du système, aux mesures des graphiques et à l'analyse des données. Dans l'ensemble, NH 20SR est une unité efficace, précise et fiable pour effectuer des processus d'implantation et de surveillance des ions dans une variété d'applications. Ses fonctionnalités d'automatisation avancées, ses puissantes capacités de surveillance et ses capacités robustes de stockage et d'analyse des données en font un excellent choix pour ceux qui recherchent un contrôle précis et des mesures précises pour leurs besoins d'implantation.
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