Occasion SEN NV-10SD-160 #9181751 à vendre en France
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SEN NV-10SD-160 est un implant et moniteur ionique développé et fabriqué par Shimadzu Corporation pour des applications semi-conductrices. C'est un équipement très polyvalent, économique et intuitif qui offre des performances supérieures en matière d'implantation. NV-10SD-160 utilise la technologie du strippage à énergie variable (VES) pour obtenir des profils d'implants uniformes à travers un large éventail de cibles. Une fois le matériau cible identifié, une séquence de charge optimisée peut être réglée pour optimiser l'efficacité de transfert de la dose maximale désirée. Le système comporte également une unité d'alignement et de compensation à six axes qui permet de réaliser des implants très homogènes dans tous les angles des implants. En outre, la machine est équipée de diagnostics post-implantation en ligne qui permettent aux utilisateurs de surveiller la faible stabilité énergétique de l'implantation. L'outil dispose d'un rendement maximal de 160 keV, avec une tension d'accélération à trois étages de 12, 42 et 160 keV. Pour chaque étage, l'angle de pas peut être ajusté de 0 à 90º pour accueillir des implants selon des orientations différentes. Les capacités de focalisation du faisceau mécanique permettent d'optimiser les performances du faisceau à tout moment, avec une divergence de faisceau inférieure à 0,1 mrad. Avec sa conception modulaire compacte et sa grande puissance, SEN NV-10SD-160 offre une facilité d'installation sans prendre beaucoup d'espace. L'actif fournit des capacités de refroidissement pour prévenir la surchauffe et les artefacts d'implantation ionique générés thermiquement. Le modèle est également équipé d'une traversée sous vide qui permet des cadences de production élevées, ainsi que d'un équipement sous vide capable de maintenir un niveau de vide supérieur à 10-7 Torr. En outre, le système est équipé d'un gestionnaire de plaquettes sophistiqué qui offre un positionnement rapide et précis des plaquettes, ainsi qu'un débit optimal des plaquettes. NV-10SD-160 est également compatible avec une large gamme de testeurs IC et de microscopes électroniques, ce qui facilite son intégration dans une chaîne de production plus large. Dans l'ensemble, SEN NV-10SD-160 est un puissant et très polyvalent implanteur et moniteur d'ions qui offre une excellente stabilité, contrôlabilité et précision lorsqu'il s'agit d'implanter des dispositifs à semi-conducteurs de haute précision et à haut rendement.
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