Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA / AXCELIS NV-GSD-80 #293636198 à vendre en France
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SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80 est un implant et un moniteur ionique très efficace et précis. Il est conçu pour rendre la fabrication de dispositifs semi-conducteurs simple et précise. SEN NV-GSD-80 repose sur deux processus essentiels : le balayage des faisceaux et la rotation. Le premier procédé, le balayage par faisceau, est utilisé pour implanter des ions dans la plaquette tandis que le second procédé, la rotation, est utilisé pour faire tourner la plaquette et maintenir une couverture uniforme sur le substrat. AXCELIS NV-GSD-80 est construit avec une large gamme de diamètres de faisceau allant de 20mm à 1150 mm. Cela permet un contrôle précis du débit de dose et de la plage angulaire des particules implantées. Ceci permet d'obtenir l'implantation souhaitée sans endommager le substrat. NV-GSD-80 est équipé d'une alimentation électrique capable d'absorber jusqu'à 120kV. Le générateur est capable de produire une haute tension qui atteint des courants de crête allant jusqu'à 2A. Ceci permet l'implantation précise d'un large éventail d'ions tels que le phosphore, le bore, le carbone et l'oxygène. Le moniteur de SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-80 est conçu pour surveiller en permanence la dose et le courant délivrés à la plaquette. Il a deux composantes principales : la minuterie et le tube photomultipler. Le temporisateur d'impulsions produit des signaux numériques continus fournissant des informations sur le champ d'intensité du faisceau et la dose en toute position sur le substrat. Le tube photomultipler détecte les impulsions de lumière générées lors du processus d'implantation ionique. Cette information est recueillie et analysée, fournissant une rétroaction sur le processus d'implantation. SEN/SUMITOMO EATON NOVA/AXCELIS NV-GSD-80 est conçu pour offrir une implantation de haute qualité sans endommager le substrat. Pour ce faire, il utilise son puissant processus d'alimentation électrique, de balayage et de rotation des faisceaux, et surveille avec précision la distribution de la dose et du courant. Le SEN NV-GSD-80 est également facile à utiliser et permet une conformation précise du processus d'implantation. Tout cela en fait une option idéale pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs.
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