Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA HE3 #293792242 à vendre en France
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SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3 est un implanteur et moniteur avancé conçu pour une implantation de haute précision avec une excellente fiabilité. Il offre des performances de haute qualité et inégalées pour la production de circuits intégrés avancés. SEN HE3 est une plate-forme polyvalente et rentable qui permet l'implantation au niveau de la production dans une gamme de flux de processus. Il offre également des contrôles de processus avancés pour une implantation stable et répétable. Le SUMITOMO EATON NOVA HE3 est doté d'un générateur RF à deux étages, d'une géométrie avancée des lignes de faisceau avec une précision impressionnante et des outils de processus innovants. Le courant de faisceau élevé fournit une implantation efficace pour une variété de matériaux et de paramètres de processus. En outre, HE3 combine faible divergence de faisceau avec courant de faisceau élevé pour l'implantation efficace des espèces d'ions. La combinaison de ces paramètres rend ce système idéal pour l'implantation d'opérations à la fois peu profondes et profondes. Le puissant logiciel de contrôle de SEN/SUMITOMO EATON NOVA HE3 aide les utilisateurs à obtenir une excellente répétabilité et précision. Le système de contrôle surveille tous les paramètres critiques, y compris l'énergie, le courant d'émission du faisceau, la densité du courant du faisceau, l'uniformité, la diaphonie et la composition des particules pour une implantation optimisée. Il dispose également de processus autonomes axés sur la recette, permettant aux utilisateurs de configurer sans effort les opérations d'implantation. L'alimentation haute fréquence robuste de SEN HE3 assure un fonctionnement stable et un traitement précis même dans des conditions ambiantes difficiles. Il offre également une protection contre les températures excessives et un fonctionnement à faible perte de puissance pour un fonctionnement fiable et de longue durée de vie. Avec son temps de cycle rapide, des contrôles de processus avancés, un fonctionnement fiable et une ingénierie robuste, SUMITOMO EATON NOVA HE3 est un choix optimal pour la production d'IC avec une grande précision. Son rapport prix/performance exceptionnel le rend parfait pour la plupart des besoins d'implantation.
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