Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 #293637081 à vendre en France

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 est un implant et un moniteur ionique à haute performance. Il est conçu pour offrir un contrôle optimal des processus et dispose d'un logiciel puissant pour garantir la plus grande précision d'implantation, reproductible et uniforme. Il dispose d'une chambre de serrure, avec un axe horizontal, pour permettre le chargement et le déchargement de jusqu'à 4 plaquettes avec un manipulateur robotique. En outre, il est équipé de deux chambres indépendantes pour réaliser l'implantation à la fois haute et basse énergie. SEN NV-GSD-A-80 dispose d'un système de balayage à 3 axes, comprenant des axes X, Y et Z pour fournir une répartition précise du faisceau et un contrôle posologique, permettant l'implantation de motifs ultra-fins avec une grande précision. Il est équipé d'un axe de poutre mobile, ce qui permet un réglage aisé de la position de la poutre pour différents processus d'implantation. Le système de balayage est également équipé d'un dispositif de chauffage à haute température sur lequel un échantillon peut être monté et chauffé jusqu'à 1000 ° C SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 est équipé de plusieurs systèmes de surveillance pour s'assurer que le processus d'implantation est effectué selon des exigences spécifiques. Cela comprend un détecteur de sortie Faraday, un capteur de tasse Faraday, un microbalance à cristaux de quartz, un moniteur d'équilibre ionique et un rayonnement bremsstrahlung aux rayons X. NV-GSD-A-80 dispose également d'un logiciel avancé avec une interface conviviale qui permet aux utilisateurs de contrôler et de surveiller le processus d'implantation en temps réel. Le logiciel se compose de nombreuses fonctionnalités telles que la capacité à configurer, surveiller et contrôler les paramètres du processus, configurer et surveiller l'analyse avancée du matériel, accéder aux fichiers de recette et les fonctions de rappel. En conclusion, SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-A-80 est un système avancé d'implantation et de surveillance des ions qui fournit des capacités de contrôle et d'analyse des procédés de pointe. La chambre de serrure, le système de balayage 3 axes et les systèmes de surveillance multiples, couplés au logiciel contrôlé, donnent aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour ajuster et surveiller le processus d'implantation exactement en fonction de leurs besoins.