Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE #293603723 à vendre en France

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-HE est un implanteur et moniteur ionique fabriqué par la société sumitomo. Il s'agit d'un implanteur ionique multifaisceaux haut de gamme, coûteux et capable de délivrer des courants de faisceaux multiples jusqu'à 2mA (avec 2 ensembles de sources de faisceaux séparées pour atteindre un débit élevé) et une énergie maximale jusqu'à 60keV. Ce modèle fournit une distribution de dopage uniforme et un excellent contrôle pour permettre un contrôle précis de la profondeur et de la localisation de la dose de l'implant. Il est équipé d'un équipement de contrôle de mouvement à 6 axes et d'un moniteur de courant du faisceau de balayage qui peut détecter de petites anomalies et des changements dans le courant du faisceau. SEN NV GSD-HE implanter dispose d'une conception unique de canon à électrons avec un système de rétroviseurs « multifacettes » qui fournit un profil de faisceau d'ions uniforme, un guide de faisceau « secteur par secteur » qui garde la direction du faisceau en contrôle précis même en faisant varier l'angle d'impact et un « contrôleur de validité du faisceau » automatisé qui protège des particules aléatoires entrant dans la ligne de faisceau. Grâce à la fonction auto-stabilisatrice du canon à ions et au contrôle précis de la ligne de faisceau, ces paramètres avancés permettent des processus extrêmement reproductibles pour un contrôle de dose précis et un contrôle de localisation précis. Le processus d'implantation est automatisé, contrôlé par une machine informatique sophistiquée en temps réel ; les capacités logicielles gérant tous les dossiers d'implants et les paramètres du programme pour les opérations et la maintenance. De plus, la surveillance dans l'ensemble du processus est assurée par une combinaison de nombreux détecteurs situés dans la chambre d'implantation et de détecteurs externes, tous deux reliés à un outil de contrôle informatique avancé. En outre, l'actif comprend un accélérateur de particules dédié pour assurer des résultats de premier ordre avec des faisceaux très stables et uniformes. Avec son optique ionique hexapole et le contrôle numérique des paramètres du faisceau, la méthode de contrôle ionique du modèle et la stabilité énergétique sont assurées même avec les changements de processus correspondants. Pour assurer la durabilité et garantir la plus haute qualité de l'implant, l'implant ionique SUMITOMO EATON NOVA NV GSD HE a été largement testé et certifié par un conseil consultatif industriel mondial conformément aux normes internationales. L'implant NV GSD HE offre un débit exceptionnel, une productivité élevée et une grande précision, grâce à l'équipement de contrôle informatique avancé avec un alignement optimal des faisceaux et un logiciel sur mesure. Il offre également une excellente répétabilité et fiabilité opérationnelle, accordant une utilisation à long terme, des coûts réduits par cycle de processus.