Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE #9181516 à vendre en France

SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE est un équipement d'implantation et de surveillance d'ions conçu pour contrôler et surveiller les caractéristiques des processus d'implantation d'ions. Grâce à ses capacités avancées de contrôle des processus, le système est capable d'atteindre le plus haut niveau d'uniformité des plaquettes, de rendement et de qualité et fiabilité des produits. L'unité offre également des solutions intégrées complètes pour maintenir l'uniformité de température des plaquettes, minimiser les dommages thermiques et éviter tout dommage à la carte de circuit. La machine se compose d'un implanteur, d'un moniteur et d'un contrôleur. L'implanteur est le composant principal de l'outil et consiste en une source d'ions, des unités de formation de faisceaux, une cible et une base d'implanteur. Il fournit le faisceau ionique nécessaire et aide à atteindre les caractéristiques souhaitées pour l'implantation de plaquettes. L'unité de surveillance est composée de capteurs à haute sensibilité qui mesurent l'intensité du faisceau d'ions, la tension et les valeurs de courant et permettent un contrôle précis du processus d'implantation. Enfin, le contrôleur fournit à l'ensemble de l'actif les signaux de commande nécessaires aux opérations automatiques du processus. Le modèle est capable de réaliser divers processus d'implantation, y compris des implantations de bore, d'arsenic, de phosphore, de silicium, de germanium, d'aluminium et de gallium. En outre, il peut être utilisé pour des processus d'implantation en une et en plusieurs étapes, permettant l'implantation simultanée d'espèces d'ions multiples dans une même plaquette. En outre, l'équipement peut être utilisé pour les tranchées et les implants en champ proche. Le SEN NV-GSD-LE est équipé d'un système de régulation de température intégré qui permet d'assurer l'uniformité des plaquettes et de minimiser les dommages thermiques. Grâce à sa grande précision (± 3 ° C) et à la disponibilité de différents réglages de température, il est idéal pour implanter des matériaux à base de Si ou non. Par ailleurs, l'unité est également capable de contrôler l'accélération et la décélération des particules, ainsi que de fournir les procédés chimiques préliminaires nécessaires. SUMITOMO EATON NOVA NV-GSD-LE comprend également plusieurs mesures de sécurité pour assurer un environnement de travail sûr. Cela comprend un interrupteur d'arrêt d'urgence en cas d'anomalies, ainsi qu'une salle étanche au bruit qui assure que le processus d'implantation se déroule avec de faibles niveaux de bruit. En conclusion, NV-GSD-LE fournit une gamme complète de fonctionnalités pour automatiser et contrôler les processus d'implantation et de surveillance des ions. En offrant une grande précision, des temps de cycle courts et une surveillance précise, la machine est une solution idéale pour un large éventail d'applications.