Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 #9148222 à vendre en France

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180
ID: 9148222
Style Vintage: 2000
High current implanter 2000 vintage.
SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-180 est un implant ionique haut de gamme et un moniteur pour le traitement des semi-conducteurs. L'équipement dispose d'une combinaison unique d'optique et d'électronique permettant une implantation précise et une perturbation thermique réduite des matériaux. Ce système est équipé de logiciels avancés et de composants matériels, ce qui lui permet d'obtenir une précision ultra-élevée pendant le fonctionnement. SEN NV-GSDIII-180 utilise une technologie de moniteur de position de faisceau haute résolution (HRBPM) pour l'implantation et la surveillance quantitatives et précises. Avec ce moniteur, l'unité est en mesure de contrôler avec précision les niveaux d'énergie d'implantation, la vitesse cible et le débit de dose, assurant ainsi une haute résolution et une précision répétable. La machine est également équipée d'un détecteur secondaire d'électrons (SED) qui permet de recueillir des données détaillées sur la réponse de différents matériaux à l'implantation ionique. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 180 est contrôlé par une interface utilisateur graphique (GUI) qui comprend un outil d'implant graphique (GIS). Ce SIG permet à l'opérateur de prérégler les espèces d'ions, la vitesse, le courant du faisceau et d'autres variables pour ajuster les implantations. Les autres fonctions comprennent la recherche informatisée dans les bibliothèques, le moniteur de diagnostic, la collecte de données, l'enregistrement des données des moniteurs, les sorties d'histogrammes et divers paramètres cinétiques prédéfinis. L'actif est capable de s'implanter dans divers matériaux tels que le silicium, l'arsenide de gallium, le carbite de silicium et le germanium. Il prend également en charge une variété de configurations, y compris des implantations monobloc, multi-wafer, batch, double face et multi-étages. NV GSDIII 180 est construit avec une construction en acier inoxydable robuste et dispose de ventilateurs de refroidissement pour assurer un fonctionnement cohérent du modèle. Il est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, y compris un équipement d'entretoisement à anneau de jetons, une décharge de poutre et un bouclier RF intégré pour assurer la sécurité des opérateurs. Le système dispose également d'un certain nombre d'options pour l'analyse de données en ligne, comme un utilitaire de profilage de rayonnement ou un terminal d'interface réseau. Afin d'assurer davantage la qualité et la cohérence, le SEN NV GSDIII 180 est équipé d'une unité d'observation en cas de défaillance, qui empêche toute accumulation de débris d'infiltration et maintient la chambre propre. En outre, une machine avancée de surveillance étanche au vide permet un contrôle précis de la pression de vide dans l'outil. NV-GSDIII-180 est un implant et un moniteur ionique de pointe, capable de fournir une implantation et une surveillance très précises et répétables. Il est équipé d'un certain nombre de fonctionnalités dont un moniteur de position de faisceau haute résolution, détecteur d'électrons secondaire, recherche de bibliothèque informatisée, et un actif d'implant graphique. En outre, ses caractéristiques de construction et de sécurité robustes assurent un fonctionnement fiable du modèle.
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