Occasion SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 #9181903 à vendre en France

SEN / SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90
ID: 9181903
Taille de la plaquette: 8"
High current ion implanter, 8".
L'implant ionique SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV-GSDIII-90 est un dispositif performant qui est utilisé pour implanter avec précision une large gamme d'ions dans un substrat à un profil précis de profondeur et de largeur. Il est conçu pour fonctionner avec une gamme de substrats tels que le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium et le diamant. SEN NV GSDIII-90 peut accueillir un large éventail d'espèces d'ions, allant des protons au lithium. Il est également capable d'implanter des ions à différentes températures. Cet implant utilise un équipement de vide à une seule ligne de faisceau, qui dispose d'un décélérateur mécanique à vide à 2 étages. Ce décélérateur permet aux ions de traverser le système à une vitesse contrôlée, et évite également qu'ils ne s'étendent sur le substrat cible. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII 90 dispose d'une unité de focalisation et de balayage de haute précision. Cette machine permet au dispositif de maintenir une intensité de faisceau stable et de focaliser tout au long du processus d'implantation. L'outil lui permet également de fournir des profils de profondeur d'implantation ionique uniformes, ainsi que d'usiner des substrats plats avec des doses uniformisées sur les faces des plaquettes. SEN/SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90 est équipé d'un outil amélioré de surveillance de l'implantation ionique qui améliore sa précision. Le fonctionnement du modèle est surveillé par un ordinateur de bord qui suit les paramètres de fonctionnement tels que le courant ionique, la tension, le temps de séjour et l'énergie du faisceau. Cet équipement de surveillance permet également de détecter et d'isoler les anomalies liées à l'implantation avant qu'elles n'affectent la qualité des plaquettes et le rendement des procédés. L'ordinateur peut également être utilisé pour stocker les données d'implantation pour une analyse plus poussée. SUMITOMO EATON NOVA NV GSDIII-90 est un implanteur et moniteur ionique hautement fiable et autosurveillant. Il comporte des mécanismes de sécurité pour réduire le risque d'accidents et de dysfonctionnements dus à des niveaux élevés de radioactivité. L'appareil a été testé en profondeur pour sa sécurité, sa précision et sa fiabilité afin d'obtenir des résultats de haute qualité.
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