Occasion SMIT SHX III S #293830617 à vendre en France
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ID: 293830617
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
High current implanter, 12"
2014 vintage.
SMIT SHX III S est un équipement d'implantation et de surveillance ionique de pointe qui combine précision, vitesse et fiabilité pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Ce système avancé est conçu pour implanter des doses précises d'ions dans différents substrats avec une grande précision et efficacité, ce qui en fait un outil essentiel pour la production de circuits intégrés et autres dispositifs semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés de SHX III S est sa technologie avancée d'implantation ionique, qui permet un contrôle précis du processus d'implantation. L'unité est équipée de sources d'ions très sensibles qui peuvent générer un large éventail d'espèces d'ions, y compris le bore, le phosphore, l'arsenic et d'autres dopants couramment utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Ces sources d'ions sont capables de produire des ions à haut niveau d'énergie, permettant une pénétration profonde dans le matériau du substrat. Le processus d'implantation ionique dans SMIT SHX III S est contrôlé par une machine de surveillance sophistiquée qui assure un contrôle précis de la dose et une implantation uniforme sur toute la surface du substrat. L'outil est équipé d'une optique de ligne de faisceau avancée qui permet une mise en forme et un positionnement précis des faisceaux, ce qui se traduit par une répartition ionique très uniforme et une perte de faisceau minimale lors de l'implantation. Ce niveau de contrôle est essentiel pour atteindre les profils de dopage précis requis pour les dispositifs semi-conducteurs avancés. En plus de ses capacités avancées d'implantation ionique, SHX III S est également équipé d'un outil de surveillance complet qui permet aux opérateurs de surveiller et d'ajuster le processus d'implantation en temps réel. Le modèle comprend des diagnostics intégrés et des mécanismes de rétroaction qui permettent aux opérateurs de suivre les paramètres clés du processus tels que le courant du faisceau, l'énergie du faisceau et la dose ionique, assurant une performance optimale du processus et minimisant les temps d'arrêt. SMIT SHX III S est conçu pour un fonctionnement à haut débit, avec un réglage rapide de la ligne de faisceau et des capacités de commutation de faisceau qui permettent des cycles d'implantation rapides et une productivité élevée. L'équipement est équipé de systèmes automatisés de manutention des plaquettes qui permettent le chargement et le déchargement sans soudure des substrats, la réduction des temps de cycle et l'amélioration de l'efficacité globale. Cette opération à grande vitesse rend SHX III S idéal pour les environnements de production à haut volume où le débit et le rendement sont des facteurs critiques. Une autre caractéristique clé de SMIT SHX III S est son logiciel avancé de contrôle des processus, qui fournit aux opérateurs des interfaces intuitives pour la mise en place de recettes d'implantation, la surveillance des paramètres de processus et l'analyse des résultats d'implantation. Le logiciel est conçu pour être convivial et personnalisable, permettant aux opérateurs d'adapter le système à leurs exigences de processus spécifiques et d'optimiser facilement les recettes d'implantation pour différents matériaux de substrat et configurations de dispositifs. Dans l'ensemble, SHX III S est une unité d'implantation et de surveillance ionique de pointe qui offre une précision, une vitesse et une fiabilité inégalées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec sa technologie avancée d'implantation ionique, ses capacités de surveillance complètes, son fonctionnement à haut débit et son interface logicielle conviviale, SMIT SHX III S est un outil polyvalent qui peut répondre aux exigences les plus exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs et stimuler l'innovation dans la production de dispositifs semi-conducteurs.
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