Occasion ULVAC IDZ-8801 #154974 à vendre en France

ULVAC IDZ-8801
ID: 154974
Implanter.
ULVAC IDZ-8801 est un équipement d'implantation et de surveillance ionique. Il s'agit d'un implant ionique multifonctionnel qui peut être utilisé pour implanter divers ions tels que le bore, le phosphore, l'arsenic, l'antimoine et l'aluminium. Le système dispose d'une grande chambre d'implant avec une cloison de chambre pour réduire la contamination de charge. Cela permet une implantation ionique très précise et précise tant en termes d'uniformité d'épaisseur que de posologie. Il est conçu pour manipuler des implants de type ion lourd avec une gamme de masse allant jusqu'à 56 amu. L'implanteur dispose également d'une machine optique à vue directe située dans la chambre d'implant qui facilite le contrôle en temps réel des profils d'implant. IDZ-8801 dispose d'un outil de surveillance intégré qui permet de mesurer en temps réel la dose, l'uniformité et les profils de l'implant. Cet atout comprend un détecteur fluorescent à rayons X très sensible qui mesure les électrons secondaires générés à partir des ions et une coupe de Faraday pour mesurer le courant du faisceau qui est essentiel pour fournir un contrôle de dose précis. Il fournit également une image visuelle de l'ion émis à haut grossissement pour surveiller les performances de la position de l'implant et la distribution de la dose relative, en s'assurant que l'implantation est effectuée dans les spécifications. Les optiques avancées PFG (Plasma Focused Ion Gun) d'ULVAC IDZ-8801 permettent aux utilisateurs de modifier leur profil d'implant pour un meilleur contrôle de leur forme cible. Le modèle bénéficie d'un faible angle d'implantation et d'un équipement de blocage informatisé qui maximise le débit et augmente le rendement du service. Le système d'implantation et de surveillance ionique dispose également d'un moniteur intégré avancé en fin de course qui assure que l'implant est placé dans les spécifications, optimisant le débit et le rendement de l'unité. En outre, IDZ-8801 dispose d'un détecteur de verre d'électrons pour détecter les défauts. Le détecteur de verre d'électrons utilise un faisceau d'électrons pour détecter les défauts avec une haute résolution et précision. ULVAC IDZ-8801 offre un haut degré de flexibilité en termes de placement de bande et de sélection d'un profil d'implant permettant ainsi un meilleur contrôle du produit final. Cette machine dispose également d'un logiciel simple pour faciliter le fonctionnement de la machine et la télécommande. En outre, l'outil offre des caractéristiques de sécurité complètes, y compris des rails de sécurité et des dispositifs de prise de vide. En outre, des dispositifs de sécurité supplémentaires tels que des portes alarmées et des protections d'enceinte contribuent à assurer le plus haut niveau de sécurité.
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