Occasion VARIAN 1000 #9404414 à vendre en France
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VARIAN 1000 est un type d'implant ionique et de moniteur utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est utilisé pour implanter des espèces ioniques à la surface du substrat de plaque de silicium pour créer les caractéristiques électriques souhaitées. 1000 est une implantation ionique rayonnée, continue et pulsée, avec une grande chambre de processus et une accélération multi-étages. Les sources d'ions utilisées dans VARIAN 1000 sont du type Frank-Bodesheim et peuvent introduire des impuretés dans les plaquettes avec une longueur de ligne minimale de 1um. Pendant la livraison, la poutre est orientée et conformée ; 1000 supporte le balayage aligné, la modulation ionique, la modulation d'énergie et le courant ionique total dans la même tranche. VARIAN 1000 est conçu pour fournir un courant de faisceau élevé, des rapports charge/masse élevés et un fonctionnement à long terme à des températures allant jusqu'à 300 ° C L'implanteur dispose d'un dispositif de refroidissement cryogénique permettant un fonctionnement efficace de la source et de la cible ; cela aide à protéger le matériau de la plaquette contre les dommages thermiques. Ses processus contrôlés par ordinateur sont contrôlés par une interface basée sur Windows, avec des outils de configuration, de contrôle et de collecte de données conviviaux. Le système d'analyse et de contrôle d'image adopté permet un suivi en temps réel des résultats des processus, avec des résolutions maximales des images acquises atteignant 0,1 micron. 1000 comprend également une unité de surveillance numérique du faisceau pour mesurer avec précision le courant, la position et le rapport d'aspect du faisceau. Ceci est fait par une machine de moniteur à double émission, avec des moniteurs placés aux points de recouvrement du faisceau complet et des positions d'intensité minimale du faisceau. Dans l'ensemble, VARIAN 1000 est un implant et un moniteur ionique de pointe qui convient à la production à l'échelle industrielle avec ses caméras vidéo haute définition et ses capacités étendues de collecte de données. Il peut économiser du temps et des ressources aux entreprises dans leurs processus de fabrication de puces sans sacrifier la qualité ou les performances.
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