Occasion VARIAN 160XP #9130946 à vendre en France
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VARIAN 160XP est un implant et un moniteur ionique haute performance qui est bien adapté pour des applications à haut volume dans la fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une technologie de faisceau mixte silicium-nitrure pour assurer une précision maximale et un contrôle des particules lors de l'implantation d'ions dans un substrat de plaquettes. VARIAN 160 XP utilise un système de contrôle de faisceau en boucle fermée en temps réel pour garantir la qualité et la précision du processus d'implantation. Ce système surveille le profil du faisceau, l'état de charge, le courant du faisceau et l'énergie pour chaque plan individuel de la plaquette, et modifiera les paramètres pour maintenir la précision pendant le cycle d'implantation. 160XP peut manipuler des substrats d'échantillons de 100 à 400 mm de diamètre, et peut être programmé pour effectuer simultanément un traitement d'implantation à haut débit sur plusieurs substrats. En utilisant un implanteur à courant moyen, il est capable de délivrer des débits de faisceau jusqu'à 4.5x1012 ion/sq cm/sec avec un contrôle et une précision précis. Sa large gamme de réglages d'énergie de faisceau permet d'implanter simultanément des substrats peu profonds et des dopants plus lourds. L'efficacité élevée de la technologie des faisceaux permet des économies importantes, ainsi qu'une cohérence et une fiabilité accrues. 160 XP offre également une gamme de composants de surveillance et de contrôle, tels que l'imagerie des particules, la mesure du courant du faisceau, le moniteur d'énergie du faisceau et le contrôle de la température du substrat. Il dispose également d'un affichage numérique pour la mesure de la température et de la décélération. En plus, VARIAN 160XP a des systèmes à sûreté pour protéger contre le contrôle de rayon défectueux ou les changements de courant de rayon qui pourraient provoquer des résultats d'implantation incorrects. Dans l'ensemble, VARIAN 160 XP est un implant ionique avancé et un moniteur qui fournit des résultats d'implantation précis, précis et fiables. Il est parfait pour les applications de production de volume dans la fabrication de semi-conducteurs, et sa capacité de surveillance assure des résultats précis avec moins de défauts. Grâce à sa technologie de faisceau très efficace, 160XP peut fournir des économies de coûts et des performances améliorées à n'importe quelle ligne de production.
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