Occasion VARIAN 160XP #9143121 à vendre en France

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VARIAN 160XP
Vendu
ID: 9143121
Taille de la plaquette: 6"
High current implanter 6" Process : IMPL-HC-9.
VARIAN 160XP est un équipement d'implantation et de surveillance d'ions qui est utilisé pour implanter des ions de divers matériaux dans un matériau de substrat. Ce système est capable d'implanter des matériaux tels que le lithium, le bore, le phosphore, l'arsenic et d'autres matériaux dans des substrats tels que le silicium, le gallium-arsenide et d'autres matériaux. Cette unité est un implanteur à forte dose et peut implanter à un débit de dose allant jusqu'à 450K ions/cm ^ 2/sec. La fluence maximale (quantité totale d'implantation ionique) qui peut être atteinte est de 6.5E13 ions/cm ^ 2. La machine peut également contrôler la disposition des faisceaux ioniques avec son outil de commande de faisceau, qui consiste en un actif de transport de plaquettes et un modèle de régulation de faisceau. L'équipement de transport de plaquettes utilise une source fixe d'ions qui est ensuite déplacée et mise en rotation par le système de régulation de faisceau. L'unité de régulation du faisceau sur VARIAN 160 XP peut tourner jusqu'à + - 50 degrés et peut focaliser et façonner le faisceau à une distance allant jusqu'à 40 cm de la source. En plus de l'implantation, la machine comprend également plusieurs systèmes de moniteurs qui peuvent être utilisés pour surveiller le processus d'implantation et la qualité du matériau implanté. Cet outil comprend une gamme de détecteurs tels qu'un réseau de photodiodes pour une résolution de profondeur allant jusqu'à 6,0 nm, une coupe Faraday pour la mesure du courant ionique et un spectromètre de masse ionique secondaire (SIMS) pour la mesure des coefficients de diffusion. Tous ces détecteurs peuvent être utilisés pour assurer une implantation de haute qualité. 160XP comprend également une interface conviviale qui permet aux utilisateurs de configurer facilement l'actif et de configurer divers paramètres pour optimiser les paramètres d'implantation pour différents matériaux de substrat et types d'ions. Le modèle comprend également un manuel d'étalonnage et d'entretien très bien documenté pour assurer le bon fonctionnement de l'équipement tout au long de sa durée de vie. En conclusion, 160 XP est un excellent choix pour les utilisateurs nécessitant un système d'implantation ionique de haute qualité. Il est capable de fournir un débit de dose d'implantation allant jusqu'à 450K ions/cm ^ 2/sec, et ses capacités d'implantation peuvent être facilement ajustées et optimisées pour différents matériaux de substrat et types d'ions. Il comprend une gamme de détecteurs pour contrôler les coefficients d'implantation et de diffusion du matériau implanté, et son interface conviviale permet une configuration rapide de l'unité. VARIAN 160XP est donc un choix idéal pour les utilisateurs qui ont besoin d'une machine d'implantation et de surveillance ionique fiable et de haute qualité.
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