Occasion VARIAN 300XP #9395137 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9395137
Style Vintage: 1995
Ion implanter, 6"
PC Included
Pumps:
VARIAN Diffusion pump
(3) CT8 Cryo pumps
(3) VARIAN 2012 Oil pumps
Pressure:
Incoming CDA: 100 psi
N2: 20 psi
Gas: (4) Toxic MFC Controlled systems
Power supplies:
Extraction PS: GLASSMANN with external stack
Accel HV: GLASSMANN
Power: 208 VAC, 32 kVA
CE Marked
1995 vintage.
VARIAN 300XP est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour fournir des processus d'implantation reproductibles pour le traitement des semi-conducteurs. Avec sa fiabilité exceptionnelle, son débit élevé et sa précision supérieure, VARIAN 300 XP est un choix idéal pour les besoins d'implantation pour la fabrication de puces. 300XP vient eqiupped avec un puissant 800 MeV, 5 mA.Dynamic Ion Beam et une technologie brevetée de contre-réaction à basse énergie (LEB). Ces caractéristiques offrent un profil d'implant uniforme et une grande précision, avec des fractions de faisceau aussi petites que 4 microns. La capacité de manipuler des tailles de taches serrées et de scanner le faisceau à travers la plaquette entraîne une répétabilité supérieure. L'équipement dispose d'un système de dédrive trio-aimant qui stabilise activement la sortie du faisceau même dans des environnements difficiles. Il dispose également d'une unité de contrôle avancée, avec un écran HMI (Human Machine Interface), des recettes en temps réel, et un contrôle de fin de course programmable par l'utilisateur. Cela permet un fonctionnement facile et précis de la machine. Le moniteur de processus 300 XP permet un contrôle précis des paramètres et des implants longs. Le spectromètre intégré du moniteur, ainsi que la caméra de wafer et une analyse de fin d'exploitation en temps réel, fournissent un examen précis et détaillé du processus d'implantation en question. En plus de cela, l'outil est équipé d'incroyables caractéristiques de sécurité et d'environnement, permettant un fonctionnement efficace sans risque d'endommagement ou de contamination. VARIAN 300XP est conçu pour aider les fabricants de puces à suivre l'évolution des demandes de l'industrie. Cela est réalisé grâce à sa conception compacte, à sa faible consommation d'énergie et à ses performances conviviales. Sa précision et sa répétabilité, ainsi que son interface opérateur, en font un choix parfait pour ceux qui recherchent une implantation et un moniteur ionique fiables et efficaces.
Il n'y a pas encore de critiques