Occasion VARIAN 350D #293600208 à vendre en France
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VARIAN 350D est un ion de haute performance implanter et le moniteur était destiné à livrer des doses précises d'ions hautement chargés dans le semi-conducteur substrates. Il se compose de plusieurs composants, dont une source d'ions, une ligne de faisceau, un spectromètre de masse, un système de déviation du faisceau et une console de commande. La source ionique VARIAN 350 D est une source chauffée et compatible avec le vide, capable de délivrer des ions de diverses énergies et courants de faisceau. Il est alimenté par un générateur RF à fréquence et amplitude réglables, et est équipé d'une source d'ions à faisceau d'électrons pour un contrôle fin du flux d'ions. La ligne de faisceau est composée d'un aimant de focalisation, d'une source de tension accélérée et d'un ensemble de plaques de déflexion électrostatique. Le faisceau est focalisé par le champ magnétique produit par l'aimant de focalisation, ce qui permet un contrôle fin de la trajectoire et de l'énergie du faisceau d'ions. La source de tension accélératrice fournit l'énergie nécessaire pour accélérer les ions à leurs énergies implantes requises. Les plaques de déflexion électrostatique sont utilisées pour dévier le faisceau d'ions et le diriger vers le substrat cible désiré. Le spectromètre de masse est utilisé pour mesurer et surveiller les ions implantés. Il permet un contrôle précis du flux et du débit d'ions, permettant un contrôle précis de la dose désirée. Il est équipé d'une chambre et d'un ensemble de détecteurs à haute impédance qui mesurent les espèces d'ions et leurs intensités respectives. 350D est équipé d'un système de déviation de faisceau constitué d'un déflecteur tournant et d'une grille de mise en forme de faisceau réglable. Le déflecteur est utilisé pour commuter la position du faisceau, et la grille de mise en forme du faisceau est utilisée pour réduire la divergence du faisceau et contrôler la forme du faisceau. Ce système permet de positionner précisément le faisceau d'ions par rapport au substrat cible. La console de contrôle fournit une interface utilisateur graphique intuitive pour permettre un contrôle précis du paramètre d'implantation et pour surveiller le processus d'implantation. Il permet également de surveiller et de contrôler à distance 350 D sur Internet. VARIAN 350D est un puissant appareil d'implantation et de surveillance ionique de précision, capable de délivrer des doses très précises d'ions fortement chargés dans des substrats. La combinaison de ses composants permet un contrôle complet du processus d'implantation, garantissant que des doses précises d'espèces ioniques peuvent être implantées dans des substrats. C'est l'outil idéal pour la fabrication de dispositifs nécessitant un contrôle précis des niveaux de dopage.
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