Occasion VARIAN 350D #293641021 à vendre en France

ID: 293641021
Taille de la plaquette: 5"
Ion implanter, 5".
VARIAN 350D est un équipement d'implantation et de surveillance ionique de haute précision et à haut courant conçu pour la production de plaquettes semi-conductrices. Le système est capable d'implanter des ions de divers types, dont le bore, l'oxygène et l'azote, à un large éventail d'énergies, allant de 1 keV à 500 keV. L'unité est équipée de deux chambres d'implants séparées, ce qui permet l'implantation simultanée et la collecte de données à partir de plusieurs plaquettes. La machine électronique de contrôle et de contrôle VARIAN 350 D est équipée d'une variété de fonctions de gain de temps. L'outil de contrôle de l'intensité du faisceau ajuste avec précision le courant du faisceau pour optimiser les performances du wafer, tandis que l'actif avancé de nivellement du wafer assure une implantation uniforme. Le modèle intégré de détection des défauts détecte les défauts dans le processus d'implantation et permet de prendre des mesures correctives avant l'envoi des plaquettes pour emballage. Le système d'aspiration de l'équipement comprend une pompe turbomoléculaire à haut rendement et une chambre à vide turbo réglable, qui permettent une répétabilité de processus élevée. La précontrainte, ainsi que la pression et la température de la chambre arrière peuvent être ajustées de manière optimale en fonction des paramètres de traitement requis. Les deux creusets 10 zones à haut rendement de l'unité permettent d'implanter simultanément jusqu'à 10 plaquettes. La machine de détection de point d'extrémité entièrement automatique surveille avec précision les variables de la chambre pour assurer le meilleur processus d'implantation possible. 350D fournit un niveau de précision et de précision qui est nécessaire pour produire des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et haute performance. Cet outil assure une production à haut débit, minimise les temps d'arrêt et réduit les coûts globaux. C'est un atout fiable et performant qui est idéal pour tous les types d'opérations de production de semi-conducteurs.
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