Occasion VARIAN 350D #293641024 à vendre en France
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VARIAN 350D est un système d'implantation et de surveillance ionique de haute précision pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour des besoins de production à haut volume avec une large gamme de paramètres d'implantation, une grande précision de processus, et un faible coût de propriété. Le VARIAN 350 D est un équipement bicarburant à quatre canons monobloc doté d'une source de faisceau d'électrons VARIAN et d'une nouvelle technologie d'accélérateur à turbine. L'ionisation pulsée des rayons X assure un contrôle optimal du nombre d'ions. Le système comprend un collimateur à arc 46 canaux avec contrôle de précision en boucle fermée et un canon à pression variable de 100 kV. La taille de la tache de faisceau de l'implanteur est réglable en fonction des besoins et du substrat, avec la capacité de créer une large gamme de géométries d'implants et de profils de faisceau. L'unité est conçue pour la flexibilité et le fonctionnement facile. Son interface multi-stations permet le contrôle simultané de multiples processus, ce qui permet d'effectuer des implants efficaces. La machine dispose d'avertissements d'alarme intuitifs et d'une rétroaction en temps réel des conditions et paramètres du processus tout au long de l'implant. En outre, 350D dispose d'un outil avancé de contrôle de l'énergie du faisceau pour le réglage automatisé de l'optimisation et de la précision de tous les réglages d'énergie du faisceau. 350 D a un courant de faisceau maximal de 250 mA, une tension maximale de 75 kV et une gamme d'énergie de faisceau de 0,2 keV à 1,0 keV. Une large gamme de substrats peut être implantée à n'importe quelle dose, avec un débit de dose maximum de 2000 neV/cm ^ 2.s et une taille maximale de plaquettes de 7 pouces. L'actif offre des niveaux de précision élevés, une faible pulvérisation et une uniformité améliorée. En outre, des fonctions d'entretien et de diagnostic avancées permettent de surveiller les performances des modèles et de soutenir les activités d'entretien préventif. VARIAN 350D est un implant et un moniteur ionique fiable et efficace. Ses niveaux de précision élevés et ses temps d'implantation rapides lui permettent de gérer des substrats difficiles et de réaliser des économies à long terme et d'améliorer les processus. Ses fonctionnalités avancées et ses multiples paramètres configurables offrent aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour répondre aux besoins modernes de production de semi-conducteurs.
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