Occasion VARIAN 350XP #293600209 à vendre en France

VARIAN 350XP est un implant et un moniteur ionique conçu pour les applications de traitement des semi-conducteurs. Le système se compose d'une chambre de préradiation et d'une tête d'implantation étanche au vide, ainsi que d'un processeur de signal numérique pour le contrôle et l'acquisition de données. Le module de préradiation de la chambre abrite la source principale d'ions, un séparateur de masse intégral et un ordinateur interne pour générer et surveiller les propriétés souhaitées du faisceau. Cette section de la machine est séparée de la chambre d'implantation, permettant une implantation rapide sans avoir à rétablir successivement des paramètres. Le module d'implantation est composé d'une chambre avec un portique à un seul axe, une vanne à grille étanche au vide et un spectromètre de masse intégré. La conception permet un temps de séjour variable, ainsi qu'une position variable le long du portique. La source d'implantation a une plage de fonctionnement à basse température et peut être utilisée pour implanter des ions de tous types, y compris des ions lourds tels que le plutonium et l'aluminium. Le blindage interne minimise la rétrodiffusion et réduit la contamination des échantillons. Le système intégré de surveillance et de contrôle utilise un processeur de signal numérique (DSP) pour faciliter l'implantation précise et assurer le maintien des paramètres requis. Cela permet un réglage automatisé de la forme et de la masse de la poutre, et surveille les conditions de processus telles que la pression de la chambre. 350XP est conçu pour permettre un suivi rapide, fiable et précis des positions des échantillons sans compromettre la précision ou la qualité. Il peut être utilisé pour implanter des ions de toutes énergies, de quelques dixièmes de keV à plusieurs méga électrons volts, et convient à une large gamme de matériaux, y compris des plaquettes semi-conductrices et des nanofils. Le système est très intuitif et convivial, ce qui en fait un excellent choix pour ceux de l'industrie du traitement des semi-conducteurs.