Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9218042 à vendre en France
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Vendu
ID: 9218042
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Ion implanter, 8"
SMIF
Left / right load lock
Light tower: Red, orange, green
AFFINITY RAA-012K-CE55CBC Chiller
B-Pure filter
EATON 9PX 3000 Uninterruptible Power Supply (UPS)
Chamber A (DPN):
Aluminium material
Gas box: (5) Sticks, HP, SDS2
N2 MFC: 1slm
Load lock / cassette:
(2) Chambers
UES / Turbo fore line
Standard cassette stage, 8"
Laser wafer mapping
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80 est un implant et un moniteur ionique qui est construit comme un équipement entièrement automatisé pour l'implantation et l'analyse dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'une technologie d'implant de pointe afin de répondre aux exigences de performance standard de l'industrie, ainsi que d'un sous-système intégré de manutention des plaquettes. Cette unité fournit une distribution et une uniformité de dose très précises et précises. Il est capable de fournir des débits d'ions élevés et une homogénéité fiable dans l'implantation. AMAT VIISta 80 est équipé de deux sources d'ions indépendantes qui comportent des émetteurs thermiques et des sources d'ions auxiliaires telles que les triodes D-11 et E-30, l'alimentation en gaz RF et l'émetteur de rayons X. Ces composants sont conçus pour produire des doses précises dans une grande variété de conditions d'implantation. La machine comprend également un sous-système automatisé de manutention des plaquettes qui est équipé de robots multiples et un pont mobile qui peut être utilisé pour transférer des pièces entre l'implant ionique et l'outil d'analyse. L'actif d'automatisation utilise un logiciel de reconnaissance de motifs afin d'orienter correctement la plaquette sur le pont et de faciliter le fonctionnement précis des multiples outils. VARIAN VIISta 80 est capable d'implanter une seule plaquette et plusieurs plaquettes. Il comporte également un modèle de pulsation qui peut être ajusté pour des doses uniformes ou non uniformes afin d'assurer une implantation optimale. L'équipement comprend également des routines d'optimisation pour l'implantation d'une seule plaquette et de plusieurs plaquettes. En outre, le système offre des capacités de surveillance avancées qui comprennent le courant du faisceau, la température, la dynamique et le rapport de l'intensité du faisceau. Cet outil permet aux utilisateurs d'évaluer le profil du faisceau, les performances et le contrôle de dose de l'implanteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS VIISta 80 est un outil très efficace et fiable pour l'implantation et l'analyse dans le secteur de la fabrication de semi-conducteurs. Il possède des caractéristiques avancées qui garantissent une implantation optimale, une distribution de dose précise et une uniformité fiable. En outre, les fonctions de surveillance offrent une analyse complète et des rapports qui permettent aux utilisateurs d'optimiser les performances et de maintenir un contrôle strict des processus.
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