Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80 #9243147 à vendre en France
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Vendu
ID: 9243147
Ion implanter, 12"
Removed parts:
Turbo pumps
Cryo pumps
Compressors
Roughing pumps
Enclosures
Load ports
Platen chillers
Beam guides
Source / Electrode assemblies
Power supplies
Controllers
2001 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80 est un implant ionique avancé et un moniteur conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ses fonctionnalités avancées permettent à l'utilisateur de contrôler avec précision l'énergie du faisceau d'ions, l'angle et la densité de courant. Ceci permet un dopage très précis des matériaux de substrat utilisés dans le procédé de fabrication. AMAT VIISta 80 dispose d'un système de balayage à quatre axes pour un alignement rapide et précis du faisceau d'ions sur le matériau du substrat. Il offre également plusieurs modes de fonctionnement sélectionnables par l'utilisateur, y compris le traitement par lots, le traitement multi-passe et l'implantation personnalisée. De plus, le faisceau d'ions peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques de l'application. VARIAN VIISta 80 dispose également d'une gamme de capacités de surveillance. Il comprend un moniteur de courant de faisceau, un moniteur de courant d'implant, des capteurs de température et de pression, et un moniteur de rayons X pour visualiser la profondeur de l'implant. Il surveille également l'uniformité de la profondeur de l'implant à travers la surface de la plaquette. Le filtre de masse intermédiaire (FMI) de MATÉRIAUX APPLIQUÉS VIISta 80 assure un filtrage précis des faisceaux ioniques implantés. Il aide à éliminer les espèces ioniques indésirables, telles que les atomes de traces ou les particules lourdes, assurant que seules les espèces désirées sont implantées dans le substrat. Cela aide à minimiser les dommages aux implants et donne un niveau de dopage de haute qualité. Le logiciel de VIISta 80 permet d'optimiser les conditions de processus. Il peut être utilisé pour contrôler divers paramètres, tels que des pressions de gaz et des tensions, pour des substrats optimisés. Il peut également être utilisé pour créer et stocker des recettes pour des conditions de traitement optimales. De plus, l'interface logicielle VIISta facilite la production de rapports détaillés sur les performances du système. En bref, VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80 est un implant ionique avancé et un moniteur optimisé pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ses capacités de balayage à quatre axes, les modes de fonctionnement sélectionnables par l'utilisateur, les capacités de surveillance, le filtre de masse intermédiaire et les logiciels optimisés en font un outil puissant pour le dopage de précision des matériaux de substrat utilisés dans le processus de fabrication.
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