Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #293630184 à vendre en France

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP ion implanter & monitor est un dispositif avancé de contrôle précis du dopant et d'autres processus d'implantation ionique. C'est un équipement compact capable de fournir à la fois une grande puissance et une grande précision. Le système comprend une alimentation haute tension, une source d'ions, une unité d'analyse et de contrôle du faisceau, une machine de contrôle de la température, un blindage et un moniteur de faisceau d'ions. L'alimentation électrique a une tension maximale de 1000 kV et fournit jusqu'à 80kW de puissance de l'implant. Il présente également une capacité de pré-polarisation haute fréquence pour améliorer l'uniformité de la zone implantée. L'alimentation comprend également une fonction de diagnostic automatisé qui peut être utilisée pour détecter toute irrégularité dans le processus. La source d'ions fournit un plasma contrôlé et très localisé qui peut être utilisé pour générer des densités de courant de faisceau jusqu'à 25mA/cm2. L'outil d'analyse et de contrôle du faisceau utilise une optique de particules sophistiquée afin de s'assurer que seules les particules désirées sont implantées. L'actif de régulation de température est capable de maintenir les conditions de température optimales pour le processus d'implantation. Il comprend également un modèle de caméra d'imagerie thermique qui permet de surveiller la température de la source lors de l'implantation. L'équipement de blindage est composé de matériaux avancés et de modèles de blindage qui offrent une excellente protection contre les rayonnements et garantissent que seuls des niveaux inoffensifs de rayonnement résiduel peuvent atteindre le système d'interception. Le moniteur de faisceau d'ions mesure en continu les paramètres du faisceau, y compris le courant, l'énergie et la position, fournissant une rétroaction pour ajuster le faisceau afin de réduire les non-uniformités indésirables dans l'implant. Dans l'ensemble, AMAT VIISta 80HP implant et moniteur ionique est une unité haute performance conçue pour permettre un contrôle précis des processus d'implantation ionique. C'est un dispositif fiable et polyvalent pour l'étape d'implantation dans la fabrication de semi-conducteurs, offrant une large gamme de réglages de courant et de puissance de faisceau, et un ensemble complet de caractéristiques de sécurité.