Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292217 à vendre en France
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Vendu
ID: 9292217
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source removed
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beam-line module:
90° Magnet assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module:
Angle cup: E11127951
Roplat kit
(2) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pump
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assembly, P/N: E17352070
Remote PD, P/N: E19012371
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Beam gate assembly, P/N: E11084150
Supply interface PCB, P/N: E15003820
Orient assembly, P/N: E11320430
PMC A3 Board, P/N: E11559950
Left PRI Robot, P/N: E40001450
ESC, P/N: E11368067
Bipolar switch box, P/N: E11335731
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
QUAD2 Power supply, P/N: E19297910
D2 Power supply, P/N: E11326011
Source isolation controller, P/N: E11106222
K2 Relay, P/N: E65000649
(3) ADIO, P/N: E11292270
PFG Controller, P/N: E11092090
V17 Valve, P/N: E32000150
Scan motor assembly, P/N: E11061452
L/P Clamp assembly
ARC Power supply CABLE, P/N: E16135690
IG2 Gauge, P/N: 354019-TD-T
(2) IG3 Gauges, P/N: 354019-TD-T
G2 Gauge, P/N: E33000206
G3 Gauge, P/N: E33000206
G10 Gauge, P/N: E33000206.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta 80HP Ion Implanter and Monitor est un instrument de haute précision largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil lourd qui est capable d'exécuter des implantations ioniques de haute précision et des contrôles de dépôt précis. AMAT VIISta 80HP utilise trois sources de faisceau distinctes pour implanter des ions dans une variété de matériaux semi-conducteurs. Il s'agit notamment du bore, du phosphore, de l'arsenic et de l'antimoine. Le moniteur est constitué d'un détecteur de rayons X, qui est utilisé pour mesurer les intensités des rayons X générés par le processus d'implantation. Grâce à la combinaison des trois sources distinctes, un motif précis d'implantation ionique est réalisable afin d'optimiser les propriétés des dispositifs semi-conducteurs. En plus de l'implantation ionique, VARIAN VIISTA 80 HP permet également une surveillance précise des dépôts. Au cours du processus de dépôt, le détecteur de rayons X est utilisé pour mesurer l'épaisseur des couches déposées. Ceci permet d'obtenir l'épaisseur prédéterminée des couches pour une performance optimale du dispositif semi-conducteur. En ce qui concerne le contrôle et la précision, APPLIED MATERIALS VIISTA 80HP est conçu pour fournir le plus haut niveau de contrôle. Il abrite divers systèmes informatiques, capables de fournir un niveau élevé de précision et de précision. Les systèmes informatiques sont intégrés avec une interface utilisateur graphique, qui est simple et facile à manipuler pour les utilisateurs. En outre, le système utilise un système de surveillance avancé qui permet aux utilisateurs de détecter facilement tout problème pouvant survenir pendant le processus d'implantation. Dans l'ensemble, VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP est un implant ionique et un moniteur de haute performance. Il a la capacité d'exécuter des implantations ioniques précises et de surveiller avec précision les processus de dépôt. De plus, son interface graphique conviviale et son système de surveillance très précis en font un outil idéal pour l'industrie des semi-conducteurs.
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