Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292218 à vendre en France
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Vendu
ID: 9292218
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens: Lens assembly and ES Decel
Process chamber module: Roplat kit
(4) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
EDWARD SCU-1600 Turbo pump controller
EDWARD SCU-1500 Turbo pump controller
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) CTI-CRYOGENICS OBIS-250F Pumps
(2) CTI-CRYOGENICS 9600 Turbo pumps
EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pump
EDWARD IGX100M Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
CVCF PD, P/N: E19009490
Remote rack
Missing parts:
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Angle cup assy, P/N: E11127951
Setup cup PCB, P/N: E11084150
TMC A2 Board, P/N: E11559860
TMC A4 Board, P/N: E12013370
QUAD2 Lens assembly, P/N: E11320190
ESC, P/N: E11368067
Source isolation controller, P/N: E11106222
Twist motor, P/N: E11130962
Loadlock vent pressure regulator, P/N: E33000355
LP2 ST32 Board P/N: 013501-167-27
Buffer robot controller fuse.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80HP est un implant ionique et un moniteur utilisé dans la production de puces semi-conductrices. Le dispositif est utilisé pour implanter des ions à la surface des plaquettes, changeant leurs propriétés électriques. AMAT VIISta 80HP est un implanteur haut de gamme, capable d'implanter des ions avec précision et constance dans un large éventail de matériaux et de conditions. L'appareil dispose d'une large gamme de capacités de performance. Il est capable d'implanter du bore, du phosphore, de l'arsenic et de l'antimoine, ainsi que d'autres ions, et peut fonctionner à des énergies allant jusqu'à 100 kilo-électrons. Il a également une uniformité de + - 1 %, une précision de 0,1 % jusqu'à 0,01 %, et une résolution supérieure à 1 nm pour les régions d'implantation plus grandes. Le dispositif a un débit allant jusqu'à 8 plaquettes par heure, ce qui signifie qu'il peut implanter jusqu'à 8 millions d'ions par seconde. En outre, VARIAN VIISTA 80 HP dispose d'un système complet de surveillance et de contrôle. Il est équipé d'un dispositif de lecture d'énergie en temps réel qui permet de contrôler et de régler la tension et le courant en fonction des besoins. Il dispose également d'un réglage dynamique en temps réel, qui assure que les ions implantés restent dans la plage souhaitée. La performance et la surveillance de VIISta 80HP peuvent également être ajustées en fonction de l'application spécifique. Le Triple Filter Management System est conçu pour optimiser les performances et minimiser les défauts tout en maintenant les doses d'implant souhaitées. Il combine trois canaux intégrés pour donner un contrôle de précision sur plusieurs paramètres. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP est également conçu pour réduire les déchets et les émissions, car il a de faibles besoins en eau et en gaz d'échappement. Le dispositif est capable d'autosurveillance et d'auto-correction, et peut fonctionner à partir d'une seule prise et d'une seule prise de courant. Cela en fait un choix économe en énergie pour les lignes de production. Dans l'ensemble, VARIAN VIISta 80HP est un dispositif d'implantation ionique puissant et fiable. Le dispositif est capable d'opérations précises et cohérentes, et son efficacité énergétique en fait un excellent choix pour les applications en ligne de production. Grâce à ses systèmes complets de surveillance et de contrôle, AMAT VIISTA 80 HP peut s'assurer que les implants sont exécutés avec précision et cohérence.
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