Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta 80HP #9292219 à vendre en France
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Vendu
ID: 9292219
Ion implanter
IAN Computer, P/N: E11130730
NCS Computer, P/N: E11083873
End station:
Platform type: UES Buffer, P/N: E11138370
(4) BROOKS AUTOMATION Fixload 6 Loadports
BROOKS AUTOMATION DBM 2706 Buffer robot
(2) BROOKS AUTOMATION VAC-407-2A PRI Robots, P/N: E40001450
Source module:
Gas box, P/N: E11140710
IHC Source head
Manipulator
Part number / Gas stick
E11116732 / Gas1 (Removed)
E11147261 / Gas2
E11147241 / Gas3
E11147251 / Gas4 (Removed)
E11116782 / Gas5
Beamline module:
90° Magnet assembly
Beamgate assembly, P/N: E11084141
Decel lens assembly
70° Magnet assembly
D2 Lens assembly and ES decel
Process chamber module:
Angle cup, P/N: E11127951
Roplat kit
BROOKS AUTOMATION 354019-TD-T Vacuum gauge
(3) MKS 354019-TD-T Vacuum gauges
(2) EDWARD STP-A2203C2 Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
(2) PFEIFFER TMH-261 YPX Turbo pumps
(3) GENESIS ICP 320 LQ Pumps
(2) GENESIS HC80 Cryo pumps
(2) EDWARD IQDP80 / QMB500 Rough pumps
EDWARD IGX100N Rough pump
Main PD assy: Circuit breaker kit
Remote PD CVCF assy
Remote rack
Missing parts:
Controller mass flow, 0-3 SCCM, PH3, 4RA P/N: E23000350
Controller mass flow, N2 calibration 5 SCCM P/N: E23000101
AFFINITY PAA-003B-CE50CBD3 Platen chiller
(2) Manipulator controllers, P/N: E11290090
Advanced platen, P/N: E11368067
Dual PFG power supply controller assembly, P/N: E11092090
Quad lens, P/N: E11289020.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80HP est un implant et un moniteur ionique à haute performance, commandé par ordinateur, conçu pour la recherche et la fabrication. C'est un équipement fiable pour diverses applications de traitement, y compris l'implantation d'ions semi-conducteurs. Le modèle AMAT VIISta 80HP peut gérer toutes les tâches d'implantation standard. Elle est polyvalente et peut être planaire ou verticale ou dentée. Il peut manipuler des particules de différentes formes et tailles et avec une grande précision. Grâce à son affichage haute résolution, le faisceau d'ions peut être programmé, suivi et surveillé avec précision. VARIAN VIISTA 80 HP dispose d'un puissant système de contrôle de faisceau qui est convivial et peut être programmé facilement par l'utilisateur. Avec ses trois types de manipulation de faisceau, le faisceau peut être adapté aux besoins spécifiques de l'application de traitement. Le faisceau peut être dévié, focalisé, et la puissance du faisceau peut être ajustée au besoin. La machine de contrôle et de contrôle des faisceaux de haute précision de l'unité, y compris un dispositif d'arrêt des faisceaux (BTO), assure l'implantation précise et même des particules cibles. VARIAN VIISta 80HP dispose également d'un outil de pompage piloté par ordinateur en boucle fermée qui permet des conditions de vide élevé pour une implantation efficace mais propre. Le régulateur de température assure une température constante dans la chambre d'implantation pour des performances optimales. VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISTA 80 HP offre une implantation ionique propre et précise avec une grande précision et contrôle. Son moniteur de zone active fournit des informations en temps réel sur la position et l'intensité du faisceau. Il offre également des informations précises sur le profil de surface de la plaquette, avec son moniteur intégré de profil de surface. En outre, d'autres fonctionnalités comprennent une interface utilisateur graphique conviviale, des recettes programmables, et l'enregistrement et la récupération de données. VIISTA 80 HP est un modèle fiable et puissant pour le traitement basé sur l'implantation. Il offre une grande maîtrise et précision avec une interface graphique conviviale et une meilleure manipulation du faisceau. Avec ses nombreuses caractéristiques, il est bien adapté aux applications de recherche et de production.
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