Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293651987 à vendre en France
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ID: 293651987
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2005
Ion implanter, 8"-12"
Process chamber
Pumps not included
Source head: Advance 54mm
ESC (Platen): COMP II
Roplat tilter assembly
UES2 Process endstation
Load locks:
Dual, 25 Wafer capacity
Polished integrated loadlock
Self aligning atmospheric door
4-Wafer walk out sensors in pass through cassette
Through-beam wafer mapping sensor
BROOKS DBM- 2076V2 Buffer robot with track movement
ESC Controller:
P/N: E19283790
MFC / Pressure unit: Argon, BF3, AsH3, PH3
Drive mechanism:
E11320430 Orientor assembly
VAC-407 IN VAC Arms
Foups/Load ports: 4-FOUP Complies
Module:
Gas module 1: Argon
Gas module 2: BF3
Gas module 3: AsH3
Gas module 4: PH3
Power supply: 3 Phase, 208 VAC
2005 vintage.
VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC est un implant et moniteur ionique à haut courant, développé pour fournir une productivité élevée avec un contrôle de processus et une fiabilité supérieurs. Il combine une variété de technologies pour permettre des performances supérieures, y compris une alimentation haute tension, un équipement d'injection de faisceau à haut courant, et un système de surveillance et de contrôle avancé. L'alimentation à haut courant offre une large gamme dynamique allant de 3 μ A à 45 keV, pour des substrats minces et épais jusqu'à 200mm de diamètre. La conception de l'unité d'injection assure un flux de particules et une distribution de courant précis, facilitant des implants cohérents et reproductibles. Il fournit également un contrôle numérique en boucle fermée de tous les paramètres cruciaux, tels que l'énergie, le courant, les trajets de faisceau et les vitesses de balayage. La machine de contrôle et de surveillance avancée est conçue pour maximiser la qualité de l'échantillon et minimiser l'intervention manuelle. Il dispose de plusieurs capteurs pour la surveillance des processus, d'un contrôleur logique programmable pour l'interface du contrôleur d'implants et d'une interface de contrôle interactif pour les paramètres définis par l'utilisateur. En outre, la mise en œuvre de l'outil assure des temps d'implantation très précis et un meilleur contrôle global du processus. AMAT VIISta HC Ion Implanter and Monitor est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière d'uniformité, de débit et de capacité. Il est conçu pour augmenter le débit et améliorer les niveaux de production, ainsi que répondre aux spécifications les plus strictes. En outre, il est conçu pour un entretien facile et l'optimisation des processus pour différentes exigences de production. En outre, il fournit le traitement numérique du signal et l'affichage des données pour assurer une analyse précise des résultats optimaux des implants.
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