Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta HC #293815847 à vendre en France

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta HC est un implant et un moniteur ionique conçu pour fournir un excellent contrôle des processus et une productivité élevée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Les capacités avancées de l'équipement sont logées dans une seule chambre et contrôlées par une interface conviviale. La section d'implantation ionique du système se compose d'un grand accélérateur cylindrique à haute énergie avec un angle d'ouverture réglable qui peut être réglé sur une gamme de valeurs différentes pour ajuster la propagation angulaire des ions. Cela permet une variété d'options de sélectivité d'implantation, telles que des implants à angle élevé et à grande surface. L'unité dispose également d'une traversée à 10 axes de haute précision qui peut être positionnée avec une précision de niveau micron, permettant un contrôle précis de la position, de la taille et de la forme du faisceau d'ions. La section moniteur de la machine dispose d'un ensemble multi-détecteurs, qui peut mesurer une gamme de paramètres, y compris le courant et l'énergie du faisceau d'implantation, la densité du flux, la diffusion de l'angle élevé et la propagation de l'angle. Cela permet un contrôle continu de la qualité du processus d'implantation et minimise le risque de défaillance du dispositif. L'outil est également équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, tels que l'arrêt d'urgence et la protection du bouclier, pour prévenir l'exposition aux rayonnements à haute énergie et minimiser le risque de blessure lors de l'exploitation de l'actif. Il contient également un modèle sophistiqué de diagnostic optique et électrique pour surveiller les propriétés du faisceau d'ions et garantir des performances optimales. En outre, AMAT VIISta HC est conçu pour une intégration facile dans les lignes de production existantes, avec des options de connexion aux composants périphériques, comme le plasma ou les systèmes de gravure. Ceci offre une grande flexibilité et assure un fonctionnement fiable de l'ensemble de la chaîne de production. Dans l'ensemble, VARIAN VIISta HC est un implanteur et un moniteur puissant et fiable, capable de fournir un contrôle de processus superbe et une productivité élevée dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.