Occasion VARIAN / AMAT / APPLIED MATERIALS VIISta #9292131 à vendre en France

VARIAN/AMAT/APPLIED MATERIALS VIISta est un implant et un moniteur ionique de pointe conçu pour fournir un faisceau d'ions de haute précision pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de fournir un large éventail d'énergies de faisceau, et par conséquent une grande variété d'espèces d'ions, tout en contrôlant l'intensité et le placement du faisceau avec une précision remarquable. L'unité est composée de plusieurs modules, dont les composants d'accélération et de formation de faisceaux d'ions, l'équipement de balayage de faisceaux et la station terminale. Le système accélérateur utilise une conception de résonance magnétique à champ axial pour le contrôle de l'énergie du faisceau d'ions. Cette conception est capable de produire des faisceaux d'ions jusqu'à 500keV. L'alimentation de cette unité comprend également des circuits de détection et de commande à impulsion rapide pour une régulation précise de l'énergie du faisceau. En outre, la machine comprend plusieurs moniteurs de qualité de faisceau pour s'assurer que le faisceau est approprié pour l'application. L'outil de balayage par faisceau d'ions est basé sur un atout avancé de direction rapide qui produit des motifs similaires à Lissajous pour diriger avec précision le faisceau dans la plaquette. Ce modèle comprend un équipement haute vitesse piloté par ordinateur qui peut produire jusqu'à 256 zones par seconde avec une résolution allant jusqu'à 0,02 microns. Le guide de faisceau d'ions est également capable de produire de très petites cibles de motifs circulaires pour un contrôle supérieur. La station terminale est une unité de manutention de plaquettes entièrement automatisée avec un moniteur de processus intégré. Cette unité comprend plusieurs capteurs pour suivre la position et l'orientation de la plaquette et du faisceau d'ions, et pour surveiller le processus d'implantation. Il utilise également des logiciels embarqués pour le suivi et l'analyse des appareils. De plus, l'unité comprend un système polyvalent de hucking de plaquettes pour différents types de substrat et une chambre réglable pour manipuler la profondeur de l'implant. Enfin, l'unité comprend une interface de communication bidirectionnelle pour l'intégration dans les réseaux informatiques. En résumé, AMAT VIISta est un implanteur et moniteur d'ions avancé capable de fournir des énergies de faisceau précises et de contrôler avec précision le placement du faisceau avec une précision remarquable. Ses nombreux composants, de l'accélérateur de faisceau ionique et de la commande de balayage de faisceau à la station terminale avec son algorithme intégré de suivi de processus, en font un choix idéal pour tous les besoins de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.