Occasion VARIAN E1000 #145999 à vendre en France
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Vendu
ID: 145999
Ion implanter, 8"
Maximum beam energy: 200kV
Facilities:
Electrical:
380-460V, 3-phase, 4-wire, 50kVA
100A Main CB, 18,000 IC, 60Hz
25A Max single load
Water:
Inlet pressure: 40 to 100 psi (275.8 to 689.5 kPa)
Pressure drop: 40 psi (275.8 kPa)
Flow rate: 18 gpm minimum (68.1 L/min)
Inlet temperature range: 50 to 68°F (10 to 20°C)
Nitrogen pressure range: 50 to 100 psi (334.7 to 689.5 kPa)
Air pressure range range: 100 to 125 psi (689.5 to 861.8 kPa)
Exhaust:
Flow rate: 1,200 cfm minimum (34.0 m^3/min)
Pressure drop: 1.5 in H2O (373.36 Pa)
Tool shutdown Q1 2009
Currently installed and located in cleanroom in fab
1997 vintage.
L'ion de VARIAN E1000 implanter et le moniteur sont un ion de haute performance implanter et un moniteur de l'Équipement de Semi-conducteur VARIAN. Le dispositif est conçu pour implanter des dopants et d'autres ions dans des puces et matériaux semi-conducteurs afin d'améliorer les propriétés électriques du matériau. Il est couramment utilisé pour doper des plaquettes de silicium pour fabriquer des puces et des composants. VARIAN électronique 1000 ion implanter a un large éventail de traits, en incluant le courant de rayon avancé et le contrôle d'énergie, le contrôle de montage avancé, a avancé la compensation spacecharge et la technologie de Fin de la course (EOR) Avancée. E 1000 a une plage d'énergie allant jusqu'à 30 keV, avec un temps de montée/descente rapide, permettant un réglage rapide de la largeur du commutateur. VARIAN E 1000 propose également une chambre de poutre embarquée pour minimiser le nombre de changements de chambre de composants. Électronique 1000 a un haut taux de dose, en fournissant jusqu'à 250mA/cm2 dans les 200 millisecondes du fait de commencer de course. Ce débit de dose élevé combiné à sa technologie avancée de fin de course, permet d'obtenir des distributions de doses uniformes dans toutes les cellules de processus, améliorant ainsi l'uniformité globale des processus. E1000 peut passiver plusieurs structures à un seul tour, ainsi que des structures à plusieurs niveaux, fournissant des distributions de doses uniformes, de forme nominale. VARIAN E1000 a également été conçu pour maximiser le temps et le débit. Des contrôles automatisés de qualification des outils peuvent être effectués avant le traitement des plaquettes et la commutation rapide de l'état du faisceau permet le passage rapide de l'implant à l'implant. Le réglage et le contrôle avancés du faisceau VARIAN E-1000, ainsi que la compensation avancée des vaisseaux spatiaux et le contrôle avancé de l'angle, permettent une implantation plus précise que jamais. En plus des avantages du traitement rapide et des implants précis, E 1000 fournit également une interface utilisateur interactive et graphique pour simplifier le fonctionnement et la surveillance des implants wafer. Cette interface utilisateur permet aux opérateurs d'accéder et de modifier rapidement les paramètres de VARIAN E 1000 et de modifier les paramètres d'implantation pour répondre aux besoins du client. En général, électronique 1000 ion implanter et moniteur sont un, outil de haute performance avancé pour implanter et contrôler dopants et d'autres ions dans les frites de semi-conducteur et matériel. Il est capable de délivrer des implants précis et uniformes dans une grande variété de cellules de processus, permettant une fabrication efficace des puces. Avec son interface conviviale, la commutation rapide entre les paramètres d'implantation et les contrôles automatisés de qualification des outils, E1000 peut maximiser le temps et le débit de production.
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