Occasion VARIAN E1000 #44234 à vendre en France
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Vendu
ID: 44234
Spare parts - many available
Suppression power supply: E11006900
Interface: 101927001
Cryo control: 112627001
Cryo pump: CT250F
JAR motor: 112612001
(3) Motor of road lock
R4 scan motor: 11364002
R1 vacuum feed thru: 112610001
R6 vacuum feed thru: 112614001
Disk motor
(2) Wafter lift assembly, 8" hook type
Acceleration tube (needs cleaning)
Beam gate-gate valve: VAT 17/93
(3)Main chamber cryogate valve: VAT 33/93
Manipulator
Varian plasma and bias supply (needs repair).
VARIAN E1000 est un implant et un moniteur ionique qui peut être utilisé pour modifier et relocaliser les ions dopants dans les semi-conducteurs et les dispositifs à l'état solide. C'est un équipement complet d'implantation ionique qui offre une implantation fiable, répétable et rentable de différents ions afin de modifier les caractéristiques électriques des dispositifs semi-conducteurs. VARIAN E-1000 est capable d'obtenir une implantation de haute précision avec des résultats de haute qualité grâce à sa technologie avancée et à son contrôle rigoureux des processus. Le système utilise une large gamme d'énergie de faisceau pour fournir une flexibilité dans le contrôle de la profondeur et de la dose d'implantation. Il est capable d'implanter des profondeurs allant jusqu'à 100 microns en quelques secondes seulement. Cette unité est également équipée d'un moniteur de faisceau extrêmement précis qui permet de mesurer en temps réel les paramètres d'implantation, assurant la précision et la répétabilité générales du processus. E 1000 comprend un canon d'émission de champ thermique fiable qui offre un filament chaud contrôlé de manière appropriée et un courant d'émission réglable pour produire un faisceau d'ions à faible émission, réduisant ainsi la charge thermique et la distorsion du faisceau. Le canon est capable de fonctionner jusqu'à 120 keV d'énergie de faisceau et fonctionne avec une distribution uniforme et cohérente des implants. La machine comprend également des systèmes de contrôle informatisés sophistiqués et du matériel de mouvement puissant, permettant à l'utilisateur de surveiller et de contrôler chaque étape du processus d'implantation. L'interphase graphique conviviale et intuitive aide à la navigation de la navigation et des paramètres du processus. L'implanteur est également capable de surveiller les doses d'implantation en temps réel et la sécurité de l'opérateur est encore accrue avec des verrous de sécurité, qui empêchent l'accès non autorisé à l'implantateur et à la zone de la machine. E1000 offre une implantation ionique fiable et performante pour plusieurs industries. Grâce à sa technologie de pointe et au contrôle des processus, l'outil a été conçu pour la précision, la répétabilité et la qualité.
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