Occasion VARIAN E11034134 #9230309 à vendre en France

VARIAN E11034134 est un implant ionique et un moniteur utilisé pour transporter des ions dans un matériau de substrat. La machine est composée de plusieurs composants qui travaillent ensemble pour créer un équipement complet. Ces composants comprennent la source d'ions, le faisceau d'ions, les systèmes d'accélération primaire et secondaire, les contrôleurs d'énergie et de courant de faisceau, l'optique de faisceau, les systèmes de transport de faisceau, l'équipement de diagnostic et de mesure, ainsi que la station terminale. La source d'ions est utilisée pour produire et transporter le faisceau d'ions. Il est composé d'un générateur de faisceau d'ions, d'un guide d'ions et d'un système d'extraction. Le générateur de faisceau d'ions produit le faisceau d'ions en bombardant soit une enceinte remplie de gaz, telle qu'une chambre de dépôt d'ions, soit un matériau cible solide avec des électrons de haute énergie. Ce bombardement d'électrons produit des ions qui sont extraits et focalisés dans un faisceau. Le faisceau d'ions est utilisé pour collecter et transporter le faisceau d'ions. Il se compose d'un ensemble d'aimants qui contrôlent et dirigent le faisceau, ainsi que de systèmes de diagnostic du faisceau pour surveiller les caractéristiques du faisceau. Les systèmes d'accélération primaire et secondaire sont alors utilisés pour amener le faisceau à la tension et à l'énergie désirées. Les régulateurs d'énergie et de courant de faisceau sont également utilisés pour maintenir les niveaux d'énergie et de courant du faisceau d'ions. Ensuite, les composants optiques du faisceau sont utilisés pour contrôler la forme, la taille et la position du faisceau d'ions sur le matériau du substrat. On y parvient en ajustant les approches de focalisation et de défocus. Une fois la forme et la taille du faisceau réglées, les systèmes de transport du faisceau déplacent alors le faisceau de la source d'ions à la station terminale. Les systèmes de transport de faisceaux sont constitués de divers composants optiques ioniques, ainsi que de systèmes de vide qui ne permettent pas au faisceau d'ions de s'échapper de l'unité. L'équipement de diagnostic et de mesure sert ensuite à mesurer les caractéristiques du faisceau, y compris sa tension, son courant, son énergie et sa position. Enfin, la station d'extrémité est celle où le faisceau est focalisé sur le matériau du substrat, ce qui permet le confinement et la manipulation. En général, l'ion d'E11034134 implanter et la machine de moniteur sont le paquet complet pour l'implantation d'ion. Il est capable de produire et de transporter des faisceaux d'ions de toute énergie, de tout courant et de toute tension désirés pour un matériau de substrat donné. L'outil est également équipé de divers composants de diagnostic et de surveillance qui permettent le contrôle de précision et l'optimisation du processus d'implantation. Cet atout est largement utilisé dans l'industrie et dans la recherche universitaire.