Occasion VARIAN E11117551 #293639520 à vendre en France
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VARIAN E11117551 est un implant ionique innovant et un moniteur conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de fournir des conditions d'implantation précisément contrôlées, uniformes et répétables pour diverses applications. E11117551 peut être personnalisé pour tout processus d'implantation et paramètres de chargement, lui donnant une flexibilité pour différents implants matériels. Il est conçu pour l'implantation à dose moyenne et élevée, et offre une grande précision pour le contrôle du courant et de la dose. Le dispositif utilise une source d'électrons nano-pulsés auto-excités de 5 MHz 50 kHz pour obtenir la dose exacte requise, les courants peuvent varier de 0,7 à 10 000 μ A et les énergies de 3 à 100 keV. Le serrage des paramètres de l'implant est assuré par la surveillance étroite et le contrôle de précision du courant du faisceau, de la propagation du faisceau et de la taille des taches du faisceau. VARIAN E11117551 a une chambre à vide puissante avec deux azote de liquide de stade deux cryo-pompe de stade, en tenant compte d'une purge rapide de la chambre. Il est également équipé d'une serrure permettant un chargement rapide et facile de l'échantillon tout en maintenant un environnement plus propre et exempt de contamination. Le dispositif a la capacité de maintenir ses performances lors de charges lourdes en surveillant le débit de puce, le courant du faisceau, la distribution des doses et la dose ionique totale. Les dispositifs de sécurité Interlock assurent des opérations de sécurité adéquates, et un moniteur de diagnostic permet des diagnostics en temps réel. E11117551 est conçu pour des performances répétables et fiables avec une latence maximale de 0,5isec. Les opérateurs peuvent surveiller la position des rayons X en utilisant leur moniteur en temps réel. Il permet également de contrôler le débit de la puce, en utilisant un pourcentage déterminé des opérations par seconde pour mesurer le courant et la dose du faisceau. Ceci empêche l'accumulation de doses dans l'implantation, offrant des doses répétables et uniformes. Le dispositif contient tous les mécanismes de protection nécessaires pour la radioprotection et la protection du personnel et des équipements, permettant une utilisation sûre dans des environnements industriels. Son interface graphique facile à utiliser rend le fonctionnement de VARIAN E11117551 simple, permettant aux opérateurs de surveiller, d'ajuster et d'effectuer des séances d'implantation, tout en restant clair et concis. E11117551 possède un large éventail de caractéristiques qui le distinguent dans l'industrie des semi-conducteurs. De son contrôle de précision et capacités de mesure de dose, à ses traits de sécurité et protection ultime, VARIAN E11117551 fournit l'opération fiable et jouant haut à tous vos besoins d'implantation de semi-conducteur.
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